Susceptor le Greille

Is comhpháirt speisialaithe é Susceptor Semicorex with Grid a úsáidtear i bpróiseas fáis epitaxial na sliseog leathsheoltóra. Tá an píosa trealaimh ríthábhachtach seo deartha chun na sliseog a iompar agus a thacú le linn na n-ábhar a bheith á sil-leagan i gcóras Miotail-Orgánach um Sheoladh Gaile Ceimiceach (MOCVD). Tá ról lárnach ag an Susceptor with Eangach maidir le fás aonfhoirmeach agus rialaithe na sraitheanna epitaxial ar an sliseog leathsheoltóra a chinntiú.

Tá an Susceptor le Greille tógtha le hábhair optamaithe dá bhfeidhm. Sa chás seo, tá sé déanta as graifít brataithe MOCVD SiC (Miotal-Orgánach Ceimiceach Soilsiú Gal Sileacan Carbide). Soláthraíonn an rogha ábhar seo roinnt buntáistí, lena n-áirítear friotaíocht ardteochta, cobhsaíocht cheimiceach, agus seoltacht theirmeach den scoth. Feabhsaíonn an sciath SiC ar an graifít marthanacht agus frithsheasmhacht an susceptor i gcoinne na gcoinníollacha crua a bhíonn le linn an phróisis fáis epitaxial.

Feidhmíonn an struchtúr Susceptor with Eangach mar mheicníocht tacaíochta do na sliseog leathsheoltóra. Tá sé deartha go straitéiseach chun na sliseoga a choinneáil slán ina n-áit agus ag an am céanna ligean do shreabhadh éifeachtach gáis agus sil-leagan aonfhoirmeach ábhar. Cuidíonn an patrún greille le teas agus imoibritheoirí a dháileadh go cothrom ar fud an dromchla wafer, ag cur le rialú beacht ar thiús agus comhdhéanamh ciseal epitaxial.

Is comhpháirt ríthábhachtach é Susceptor Semicorex le Greille i bpróiseas monaraíochta ardfheistí leathsheoltóra. Déanann a thógáil láidir agus a dhearadh speisialaithe uirlis riachtanach chun fás epitaxial ardcháilíochta a bhaint amach, ag cinntiú táirgeadh leathsheoltóirí le feidhmíocht agus iontaofacht níos fearr.