Glacadóir leathsheoltóra

Semicorex Susceptor Semiconductor, susceptor graifíte réabhlóideach atá déanta go cúramach chun do mhonarú leathsheoltóra a ardú go dtí airde nua. Innealtóireacht le cruinneas agus nuálaíocht, tá an susceptor seo bródúil as sciath CVD SiC a leagann sé as a chéile sa tionscal. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

Déanta as graifít ardcháilíochta, cinntíonn an Leathsheoltóir Susceptor an seoltacht teirmeach is fearr is féidir, ag soláthar timpeallacht chobhsaí agus iontaofa do do phróisis epitaxial wafer.

Tá an leathsheoltóir susceptor treisithe le sciath Carbide Sileacain Taiscí Ceimiceach (CVD) (SiC), rud a fheabhsaíonn a marthanacht agus a fhriotaíocht in aghaidh teochtaí foircneacha. Ráthaíonn an sciath ardleibhéil seo feidhmíocht chomhsheasmhach, fiú sna timpeallachtaí foirnéise is déine.

Cinntíonn an meascán de graifít agus CVD SiC dáileadh éifeachtach teasa, rud a íoslaghdaíonn éagsúlachtaí teochta ar fud an dromchla wafer. Mar thoradh air seo fás epitaxial aonfhoirmeach, ar deireadh thiar feabhas a chur ar cháilíocht agus toradh do feistí leathsheoltóra.

Déantar an Leathsheoltóir Susceptor a innealtóireacht chun comhtháthú gan uaim isteach i gcórais foirnéise éagsúla, ag soláthar solúbthachta agus inoiriúnaitheachta do shuiteálacha déantúsaíochta éagsúla. Ceadaíonn a dhearadh suiteáil éasca agus oibriú iontaofa i dtimpeallachtaí déantúsaíochta leathsheoltóra éagsúla.

Deartha go sonrach le haghaidh próisis epitaxial sliseog, tá an leathsheoltóir susceptor seo ar fheabhas agus é ag iompar sliseog go sábháilte laistigh den fhoirnéis. Cinntíonn a thógáil láidir socrú sliseog slán, rud a íoslaghdaíonn an baol damáiste le linn na céime fáis epitaxial.

Ní hamháin go gcuireann an croí graifít marthanach in éineacht leis an sciath SiC feabhas ar fheidhmíocht ach leathnaíonn sé freisin saolré an leathsheoltóra susceptor. Aistríonn an fad saoil seo go coigilteas costais le himeacht ama, rud a fhágann gur infheistíocht chliste é an Leathsheoltóir Susceptor do do shaoráid déantúsaíochta leathsheoltóra.