Pláta Glacadóra

Is comhpháirt ríthábhachtach é Pláta Susceptor Semicorex sa phróiseas fáis epitaxial, atá deartha go sonrach chun sliseog leathsheoltóra a iompar le linn scannáin tanaí nó sraitheanna a thaisceadh. I gcomhthéacs Taistil Gail Cheimiceach Miotail-Orgánach (MOCVD), tá na plátaí seo crafted go háirithe ó ábhair ar féidir leo teocht ard a sheasamh agus dromchla cobhsaí a sholáthar d'fhás sraitheanna epitaxial.

Tá an Pláta Susceptor a úsáidtear sa phróiseas seo déanta as graifít atá brataithe le cairbíd sileacain (SiC) trí phróiseas MOCVD féin. Cuireann carbide sileacain cobhsaíocht theirmeach eisceachtúil, neart meicniúil, agus friotaíocht in aghaidh imoibrithe ceimiceacha, rud a fhágann gur rogha iontach é do choinníollacha éilitheacha fáis epitaxial.

Le linn MOCVD, tá ról lárnach ag an bPláta Susceptor trí theas a aistriú go héifeachtach chuig na sliseoga leathsheoltóra. Súnn an pláta fuinneamh ón timpeallacht máguaird agus radaíonn sé i dtreo na sliseog, ag éascú sil-leagan rialaithe scannán tanaí ar na dromchlaí sliseog. Tá an rialú teochta beacht seo riachtanach chun sraitheanna epitaxial aonfhoirmeacha agus ardchaighdeáin a bhaint amach, atá ríthábhachtach i dtáirgeadh feistí leathsheoltóra chun cinn.

Feidhmíonn an Pláta Susceptor i bpróisis MOCVD, comhdhéanta de graifít SiC-brataithe, mar ardán iontaofa chun tacú le sliseoga leathsheoltóra, ag cinntiú an t-aistriú teasa is fearr is féidir, agus ag cur le fás epitaxial rathúil scannán tanaí le tréithe inmhianaithe d'iarratais leathsheoltóra.