Glacadóir Ilphóca SiC

Is graifít isotrópach íonachta ultra-ard é bunús Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor, a bhfuil cáil air as a chobhsaíocht theirmeach agus a fhriotaíocht ar turraing teirmeach. Déantar an bunábhar seo a fheabhsú tuilleadh trí bhratú SiC atá taiscthe CVD a rialú go cúramach a chur i bhfeidhm. Soláthraíonn an meascán seo sineirgíocht uathúil maoine:

Friotaíocht Cheimiceach Neamhchosanta:Léiríonn ciseal dromchla SiC friotaíocht eisceachtúil in aghaidh ocsaídiúcháin, creimeadh, agus ionsaí ceimiceacha fiú ag teochtaí ardaithe a bhaineann le próisis fáis epitaxial. Cinntíonn an táimhe seo go gcoimeádann an Susceptor Ilphóca SiC a shláine struchtúrach agus a cháilíocht dromchla, ag íoslaghdú an riosca éillithe agus ag cinntiú go n-áiritheofar saolré oibriúcháin leathnaithe.

Cobhsaíocht Teirmeach Eisceachtúil agus Aonfhoirmeacht:Cinntíonn cobhsaíocht dhúchasach na graifíte isotrópach, mar aon leis an sciath SiC aonfhoirmeach, dáileadh aonfhoirmeach teasa ar fud dhromchla an tsúileora. Tá an aonfhoirmeacht seo ríthábhachtach chun próifílí teochta aonchineálacha a bhaint amach ar fud an wafer le linn epitaxy, ag aistriú go díreach isteach i bhfás criostail níos fearr agus aonfhoirmeacht scannáin.

Éifeachtúlacht Próisis Feabhsaithe:Cuireann stóinseacht agus fadsaoil Susceptor Ilphóca SiC le héifeachtúlacht próisis mhéadaithe. Aistríonn aga neamhfhónaimh laghdaithe do ghlanadh nó athsholáthair go tréchur níos airde agus costas foriomlán úinéireachta níos ísle, fachtóirí ríthábhachtacha i dtimpeallachtaí déantús leathsheoltóra éilitheach.

Aistríonn airíonna níos fearr an Susceptor Ilphóca SiC go díreach go sochair inláimhsithe i ndéanamh wafer epitaxial:

Caighdeán Feabhsaithe Wafer:Cuireann aonfhoirmeacht teochta feabhsaithe agus táimhe ceimiceach le lochtanna laghdaithe agus le caighdeán criostail feabhsaithe sa chiseal epitaxial. Aistríonn sé seo go díreach le feidhmíocht agus toradh feabhsaithe na bhfeistí leathsheoltóra deiridh.

Feidhmíocht Ghléis Mhéadaithe:Tá an cumas chun rialú beacht a bhaint amach ar phróifílí dópála agus ar thiús ciseal le linn epitaxy ríthábhachtach chun feidhmíocht gléas a bharrfheabhsú. Cuireann an t-ardán cobhsaí agus aonfhoirmeach a sholáthraíonn an SiC Multi Pocket Susceptor ar chumas na monaróirí tréithe feiste a mhionchoigeartú d'fheidhmchláir shonracha.

Feidhmchláir Casta á gCumasú:De réir mar a théann an tionscal leathsheoltóra i dtreo céimseataí gléas níos lú agus ailtireachtaí níos casta, leanann an t-éileamh ar sliseoga epitaxial ardfheidhmíochta ag ardú. Tá ról ríthábhachtach ag Susceptor Ilphóca Semicorex SiC maidir leis na dul chun cinn seo a chumasú tríd an ardán riachtanach a sholáthar le haghaidh fás epitaxial beacht agus in-athdhéanta.