Pláta brataithe sic

Is comhpháirt ardfheidhmíochta innealtóireachta é Pláta Sic SIC SIC atá deartha go sonrach le haghaidh trealamh fáis eipiciúil (EPI), a éilíonn foshraitheanna cobhsaí, ard-íonachta chun scannáin ardchaighdeáin a chruthú. Is croí graifíte ard-neart é, atá brataithe go haonfhoirmeach agus go dlúth le cairbíd sileacain (SIC), ag baint amach an fhriotaíocht theirmeach agus mheicniúil thar cuimse ar ghraifít ard-neart in éineacht le cobhsaíocht cheimiceach agus marthanacht dromchla SIC. Tógtar an pláta brataithe SIC SEMICOREX chun déine an -mhór na bpróiseas eipiciúil a chothú do leathsheoltóirí cumaisc lena n -áirítear SIC agus Gan.

Tá seoltacht theirmeach den scoth, dlús íseal, agus friotaíocht turraing teirmeach níos fearr ag croílár graifít an phláta brataithe SIC. Ceadaíonn mais theirmeach measartha íseal an chroí graifíte atá cothrom le seoltacht theirmeach den scoth dáileadh tapa teasa go cothrom i bpróiseas ina dtarlaíonn timthriallta teochta ag luas ard. Tairgeann an ciseal seachtrach de SIC a thaisctear le sil -leagan gaile ceimiceach (CVD), bacainn chosanta a mhéadaíonn cruas, friotaíocht creimthe, agus támh ceimiceach, ag tairiscint luach láithreach chun giniúint na gcáithníní a theorannú nó a chosc. Cinntíonn an dromchla eiliminteach soladach seo in éineacht le saintréithe fisiciúla an bhoinn graifíte timpeallacht an -ard próisis íonachta agus is beag riosca a bhaineann le giniúint lochtanna ar na sraitheanna eipideacha.

Is tréithe riachtanacha den phláta brataithe SIC iad cruinneas toisí agus cothromaíocht dromchla freisin. Déantar gach pláta a mheaitseáil agus a bheith brataithe le lamháltais dhiana chun aonfhoirmeacht agus in -atrialltacht a chinntiú i bhfeidhmíocht phróisis. Laghdaíonn an dromchla réidh agus táimhe suíomhanna núicléacha le haghaidh sil -leagan scannán nach dteastaíonn agus feabhsaíonn sé aonfhoirmeacht wafer trasna dhromchla an phláta.

I n -imoibreoirí epitaxial, is iondúil go gcuirtear an pláta brataithe SIC i bhfeidhm mar shopdortor, línéar, nó sciath teirmeach chun struchtúr a thabhairt agus a fheidhmiú mar mheán aistrithe teasa go dtí an sliseog atá á phróiseáil. Beidh tionchar díreach ag feidhmíocht chobhsaí ar chaighdeán, toradh agus táirgiúlacht criostail.