Iompróir Graifít le haghaidh imoibreoirí epitaxial

Is comhpháirt innealtóireachta é iompróir graifít Semicorex le haghaidh imoibreoirí epitaxial le haghaidh sil -leagain epitaxial do dhéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá an t -iompróir graifíte seo déanta as graifít ard -íonachta agus brataithe go haonfhoirmeach le SIC. Tagann roinnt buntáistí leis an iompróir seo a laghdaíonn freagracht, caitheamh agus cuimilt, agus cobhsaíocht cheimiceach níos fearr a sholáthar nuair a bhíonn sé i dtimpeallachtaí creimneacha agus i dteochtaí arda. Soláthraíonn an micrea -phóirseacht dhlúth Bottomıyla ar an dromchla bun dáiltí gáis aonfhoirmeacha thar dhromchla an tsleasa le linn fáis a chaithfidh a bheith cruinn go leor chun sraitheanna criostail saor ó fhabht a tháirgeadh.

Tá an t -iompróir brataithe SIC dírithe ar imoibreoirí cothrománacha nó ingearacha, cibé acu baisc nó sliseog aonair iad. Cosnaíonn an sciath cairbíde sileacain an graifít, feabhsaíonn na hainmneacha ED friotaíocht eitseáil, tá sé frithsheasmhach in aghaidh ocsaídiúcháin, agus an turraing theirmeach i gcomparáid le graifíte neamhbhrataithe ag réabhlóidiú na gcur chuige a chaithfidh oibreoirí a infheistiú ag baint úsáide as am suaimhneach a chuirtear amú, rud a fhágann go bhfuil cothabháil fhairsing/athsholáthar le hiompróir le hiompróir le saol seirbhíse níos lú idirghabhála ar gach céim den timthriall teirmeach; An cothabháil a dhéanamh ón mbuicéad nó ón RK a bhí ag dul i méid i bpolaiméirí creidiúnacha RK a bhfuil an t -iompróir in ann iad a athsholáthar uair amháin mar gach rud eile; Éifeachtúlachtaí oibríochtúla a uasmhéadú in ionad cothabháil réamhbhreithe nó in aghaidh an chothabhála sceidealta.

Tá an foshraith ghraifít bhunúsach déanta as grán ultra-fíneáil, ábhar ard-dlúis, ag soláthar cobhsaíochta meicniúil agus cobhsaíocht thoiseach faoi luchtú teirmeach an-mhór. Is féidir sciath SIC seasta, beacht a chur leis an gciseal carbóin ag baint úsáide as sil -leagan gaile ceimiceach (CVD), a sholáthraíonn ciseal ard -dlúis, réidh, géar agus saor in aisce le chéile le banna dromchla láidir. Féadann sé seo comhoiriúnacht mhaith a dhéanamh le gáis phróisis agus riocht imoibreora, chomh maith le héilliú laghdaithe agus níos lú cáithníní ar féidir leo toradh sliseog a chur i bhfeidhm.

Tá an suíomh micrea-pholl, an spásáil, agus an struchtúr ar bun an iompróra beartaithe chun an sreabhadh gáis is éifeachtaí agus is aonfhoirmeach a chur chun cinn ó bhun an imoibreora trí bhréibhe an iompróra graifíte chuig na sliseoga os a chionn. Is féidir le sreabhadh aonfhoirmeach gáis ó bhun an imoibreora rialú próisis ar thiús ciseal agus próifílí dópála a athrú go suntasach in iompróirí graifítí le haghaidh próiseas fáis eipiciúil, go háirithe i leathsheoltóirí cumaisc gáis cosúil le SIC nó GAN áit a bhfuil cruinneas agus in -atrialltacht ríthábhachtach. Ina theannta sin, tá sonraíocht an dlús agus an phatrúin bhréagach an -saincheaptha, sainithe ag dearadh imoibreora gach corparáide, agus tá struchtúr bréige bunaithe ar shonraíochtaí an phróisis.

Tá iompróirí graifíte Semicorex deartha agus monaraithe le déine na timpeallachta próisis eipiciúil. Tairgeann Semicorex saincheapadh do gach méid, patrúin poll, agus tiús brataithe chun comhtháthú gan stró i do threalamh atá ann cheana féin. Cinntíonn ár gcumas intí chun iompróirí a mhonarú, agus rialú cáilíochta a dhéanamh go cruinn feidhmíocht chruinn, in-athdhéanta, réitigh ard-íonachta, agus iontaofacht a éilíonn monaróirí leathsheoltóra ceannródaíocha an lae inniu.