Fáinní sealbhóirí 8-orlach

Is crua-earraí próiseála leathsheoltóra ceannródaíocha iad fáinní wafershealbhóir 8-orlach SEMICOREX a bhfuil sé mar aidhm acu sliseoga sileacain a dhaingniú agus a thacú go sábháilte trí phróisis thábhachtacha teirmeacha, eitseáil agus sil-leagain. Tógtha as graifít ardcháilíochta le dlúthCumhdach Cairbíd Sileacain (SIC)Le haghaidh neart breise, tugann an fáinne sealbhóra sliseog cobhsaíocht teirmeach níos fearr, friotaíocht cheimiceach, agus neart meicniúil, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach amhail CVD (sil-leagan gaile ceimiceach), PECVD, agus córais eipidíteacha.

Príomhghnéithe:

Comhdhéanamh Ábhar:

Tá an t -ábhar foshraithegraifít ard-íonachta, a roghnaítear le haghaidh seoltacht ard teirmeach agus aonchineálacht struchtúrach. Dlús ard agus éideSilicon Carbide (SIC) Cumhdach Scannáncuirtear i bhfeidhm é ar an dromchla, ag taispeáint frithsheasmhachta ard in aghaidh ocsaídiúcháin agus ionsaí ceimiceach fiú ag teochtaí ardaithe os cionn 1000 ° C. Tá seilfré ar feadh tréimhse fhada agus an riosca íosta a bhaineann le héilliú na sliseoga sa mheascán.

Suíomh sliseog slán

Tá sé deartha go háirithe chun sliseoga 8-orlach (200 mm) a shealbhú, tá lamháltais bheachta ag an bhfáinne waferholder agus geoiméadracht inmheánach atá deartha go barrmhaith chun an sliseog a ghreamú go daingean. Tá an fáinne fós seasmhach i suíomh le linn rothaíochta teirmeach agus sreabhadh gáis, ag íoslaghdú micrea-ghluaiseachta a d'fhéadfadh a bheith mar thoradh ar chruthú na gcáithníní nó briseadh sliseog.

Aonfhoirmeacht theirmeach:

Cinntíonn seoltacht theirmeach bhunúsach an tsubstráit graifíte agus cobhsaíocht an sciath SIC aistriú teasa comhsheasmhach thar dhromchla an tsleasa. Mar thoradh air seo tá torthaí comhsheasmhacha próisis, strus teirmeach laghdaithe, agus toradh níos fearr ar fheiste.

Friotaíocht Cheimiceach & Plasma:

Cosnaíonn an dromchla SIC an croí graifíte ó phlasmas agus gáis phróisis chrua, ag tairiscint friotaíochta in aghaidh timthriallta próisis arís agus arís eile. Tá an támh ceimiceach tairbheach go háirithe i dtimpeallachtaí gás nó gáis imoibríocha ina bhfuil creimneach halaigine.

Saincheapadh ar fáil:

Is féidir go mbeidh fáinní sealbhóirí 8-orlach saincheaptha chun riachtanais threalamh nó próisis shonracha a chomhlíonadh, ie, éagsúlachtaí i ndearadh tacaíochta imeall, suíomh na sliotán, agus cumraíocht gléasta. Oibríonn ár ndearthóirí le OEMS agus Fabs chun an fheidhmíocht is airde is féidir a sholáthar do gach úsáid.

Iarratais:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Próisis fáis eipiciúil
• Foirnéisí idirleata
• Anáil ardteochta
• Córais phróiseála teirmeacha leathsheoltóra eile

Déantar cigireacht dhian ar gach fáinne sealbhóra 8 n-orlach mar fhíorú cruinneas toise, tástáil greamaitheachta sciath, agus cáilíocht rothaíochta teirmeach. Cinntíonn ár dteicneolaíocht déantúsaíochta ardleibhéil tiús sciath aonfhoirmeach Sic agus bailchríoch dromchla is fearr chun ardéilimh an tionscail leathsheoltóra a chomhlíonadh.

Is trealamh riachtanach iad fáinní waferholder 8-orlach Semicorex (graifít atá brataithe le SIC) do tháirgeadh leathsheoltóra na chéad ghlúine eile, ag soláthar cruinneas meicniúil, marthanacht ábhair, agus cobhsaíocht cheimiceach. Ó uasghrádú trealaimh phróisis go dtí tógáil ardán sliseog na chéad ghlúine eile, cuireann an táirge seo an iontaofacht agus an fheidhmíocht is gá ar fáil chun timpeallachtaí táirgthe éilitheacha an lae inniu a chumasú.