8. Tacadóir orlach epi

Semicorex 8 orlach Is cuid de thacaíocht sliseog ardteicneolaíochta é Socraigh EPI 8 n-orlach a úsáidtear in oibríochtaí sil-leagan eipiciúil chun leathsheoltóirí a mhonarú. Déantar é a mhonarú le croí-ábhar graifíte atá in-íon atá brataithe le ciseal aonfhoirmeach tiubh, leanúnach de chomhdhúile sileacain (SIC) a úsáidtear in imoibreoirí eipidíteacha ina bhfuil cobhsaíocht theirmeach, friotaíocht cheimiceach agus aonfhoirmeacht sil-leagain tábhachtach. Tá an trastomhas 8-orlach caighdeánaithe go sonraíochtaí tionscail le haghaidh trealaimh a phróiseálann 200 mm sliseoga agus dá bhrí sin soláthraíonn sé comhtháthú iontaofa i il-mhíniú monaraithe atá ann cheana féin.  

Éilíonn fás eipiciúil timpeallacht theirmeach an -rialaithe agus idirghníomhaíochtaí ábhartha támh réasúnta. Sa dá chás déanfar graifít brataithe SIC a chomhlíonadh go dearfach. Tá seoltacht theirmeach an -ard agus leathnú teirmeach an -íseal ag croílár an ghraifít, rud a chiallaíonn go bhfuil foinse teasa atá deartha go leordhtha gur féidir an teas ón gcroílár graifít a aistriú go tapa agus grádáin teochta comhsheasmhacha a chothabháil trasna dhromchla an tsliocht. Is é an ciseal seachtrach de SIC ná an bhlaosc seachtrach den so -ghabhálaí. Cosnaíonn an ciseal SIC an croí so-ghabhálaí ó theochtaí arda, fotháirgí creimneacha an gháis phróisis amhail hidrigin, airíonna an-chreimneach silane clóirínithe, agus scrios meicniúil mar gheall ar nádúr carnach an chaitheamh mheicniúil ba chúis le timthriallta teasa athdhéanta. Tríd is tríd is féidir linn a thuar go réasúnach, fad is atá an struchtúr dé -ábhair seo tiubh go leor, go bhfanfaidh an so -ghabhálaí slán ó thaobh na meicniúla de agus go bhfuil támh go ceimiceach i dtréimhsí teasa fada. Go cinntitheach, bhreathnaíomar go empirically air seo agus é ag feidhmiú laistigh de raonta teirmeacha ábhartha, agus soláthraíonn an ciseal SIC bac iontaofa idir an próiseas agus croílár na grafaicí, ag uasmhéadú deiseanna do cháilíocht táirgí agus fad na huirlise a uasmhéadú.

Tá páirt riachtanach agus thar a bheith tábhachtach ag comhpháirteanna graifíte i bpróisis mhonaraithe leathsheoltóra, agus is fachtóir suntasach é an caighdeán ábhar graifíte i bhfeidhmíocht an táirge. Ag Semicorex tá smacht déine againn ag gach céim dár bpróiseas táirgthe ionas gur féidir linn aonchineálacht agus comhsheasmhacht ábhartha an -in -in -atáirgthe a bheith againn ó bhaisc go baisc. Agus ár bpróiseas táirgthe baisce beag againn, tá foirnéisí beaga carbóinithe againn le toirt seomra de 50 méadar ciúbach amháin, rud a ligeann dúinn rialuithe níos déine a choinneáil sa phróiseas táirgthe. Déantar monatóireacht aonair ar gach bloc graifít, is féidir a rianú le linn ár bpróiseas. Chomh maith leis an monatóireacht teochta ilphointe laistigh den fhoirnéis, déanaimid teocht a rianú ag an dromchla ábhair, ag íoslaghdú claontaí teochta go raon an-chúng ar fud an phróisis táirgthe. Ligeann ár n -aird ar bhainistíocht theirmeach dúinn strus inmheánach a íoslaghdú agus comhpháirteanna graifíte atá an -chobhsaí agus in -in -in -in -in -atáirgthe a tháirgeadh le haghaidh feidhmchlár leathsheoltóra.

Cuirtear an sciath SIC i bhfeidhm trí sil-leagan gaile ceimiceach (CVD), agus táirgeann sé dromchla soladach, glan críochnaithe le maitrís mhín a laghdaíonn giniúint na gcáithníní; Agus dá bhrí sin, cuirtear leis an bpróiseas glan CVD. Deimhníonn an próiseas CVD ar thiús scannán brataithe aonfhoirmeacht agus tá sé tábhachtach don chobhsaíocht agus don chobhsaíocht thoiseach trí rothaíocht theirmeach. Soláthraíonn sé seo ar deireadh thiar planarity sliseog den scoth, agus mar thoradh air sin tá an sil-leagan ciseal is fiú le linn an phróisis epitaxy.

Is buntáiste bunúsach eile é comhsheasmhacht tríthoiseach den soirneoir EPI 8 orlach a mhonaraigh Semicorex. Déantar an t -uafás a innealtóireacht ar lamháltais dhiana agus mar thoradh air sin tá comhoiriúnacht mhór le róbait láimhseála sliseog agus beacht oiriúnach i gcriosanna téimh. Tá an dromchla so -ghabhálaí snasta agus saincheaptha do choinníollacha teirmeacha agus sreafa áirithe an imoibreora epitaxial ar leith a úsáidfear an so -ghabhálaí. Is féidir roghanna, mar shampla, poill bioráin ardaithe, cuasáin phóca nó dromchlaí frith-duillín a mheaitseáil le riachtanais shonracha dearaí agus próisis uirlisí OEM.

Déantar il -thástálacha ar gach soceptor do fheidhmíocht theirmeach agus sláine sciath araon le linn an táirgthe. Cuirtear modhanna rialaithe cáilíochta, lena n -áirítear tomhas agus fíorú tríthoiseach, tástálacha greamaitheachta brataithe, tástálacha friotaíochta turraing teirmeach, agus tástálacha friotaíochta ceimiceacha i bhfeidhm chun a chinntiú go mbaintear iontaofacht agus feidhmíocht amach fiú i dtimpeallachtaí ionsaitheacha epitaxial. Is é an toradh atá air sin ná táirge a chomhlíonann agus a sháraíonn na riachtanais éilitheacha reatha atá ag an tionscal monaraithe leathsheoltóra.

Semicorex 8 orlach Déantar an soirneoir EPI as graifít brataithe SIC a chothromaíonn seoltacht theirmeach, déine meicniúil, agus táimhe cheimiceach. Is príomhghné é an soirneoir 8 orlach le haghaidh feidhmeanna fáis eipidítí ardtoirte mar gheall ar a rath i dtacaíocht chobhsaí, ghlan, sliseog a tháirgeadh ag teochtaí arda as a dtagann próisis epitaxial ardleibhéil, ard-aonfhoirmeachta. Is gnách go bhfeictear méid 8 n-orlach an tsosa epi i dtrealamh caighdeánach 8-orlach sa mhargadh agus tá sé in-idirmhalartaithe le trealamh custaiméirí atá ann cheana féin. Ina chumraíocht chaighdeánach tá an so -ghabhálaí EPI an -inoiriúnaithe.