Fáinne bun 8 n -orlach epi

Semicorex 8 orlach Is cuid thábhachtach struchtúrach é fáinne bun EPI 8 n -orlach a úsáidtear le haghaidh trealaimh eipidítí leathsheoltóra agus tá sé deartha go sonrach chun a bheith mar fháinne bun an tionóil iomlán. Tacaíonn an fáinne bun leis an gcóras iompróra wafer le linn fás eipiciúil an tsleasa agus ag cur le cobhsaíocht Mheicniska, aonfhoirmeacht teirmeach, agus sláine próisis a theastaíonn chun sliseoga leathsheoltóra ardfheidhmíochta a mhonarú. Déantar an fáinne bun a mhonarú ó ghraifít ard-íonachta atá brataithe, ag leibhéal an dromchla, le sciath dhlúth agus aonfhoirmeach de chomhdhúile sileacain (SIC). Mar thoradh air sin, is rogha an -iontaofa é do imoibreoirí ardleibhéil epitaxial faoi choinníollacha foircneacha teirmeacha agus ceimiceacha.

Is é graifít an bunábhar is oiriúnaí don fháinne bun mar gheall ar a mheáchan éadrom, a sheoltóir teirmeach den scoth, agus tógáil neamh-chasta le cobhsaíocht toisí tadhlaíocha agus ingearacha faoi theocht ard. Ceadaíonn na hairíonna seo an fáinne bun rothaíochta go teirmeach ag luas agus, dá bhrí sin léiríonn siad leanúnachas comhsheasmhach i bhfeidhmíocht mheicniúil agus iad i mbun seirbhíse. Cuirtear an sciath sheachtrach SIC i bhfeidhm ag baint úsáide as próiseas sil-leagan gaile ceimiceach (CVD) chun ciseal ceirmeach dlúth agus saor ó fhabht a mhonarú. Ina theannta sin, cuireann an próiseas CVD próiseas ar fáil a chuireann teorainn le giniúint caitheamh agus cáithníní trí láimhseáil an sciath SIC go cúramach gan cur isteach ar an ngraifít fhoshraith bhunúsach. Mar chónascadh Sic agus graifít, tá an ciseal dromchla SIC támh go ceimiceach ar an ngníomh creimneach de ghás próisis, go háirithe le fotháirgí hidrigine agus clóirínithe, agus tá cruas den scoth agus friotaíocht ag caitheamh leis - ag cinntiú an oiread tacaíochta don chóras iompróra sliseog agus is féidir agus é in úsáid.

Déantar an fáinne bun 8 n -orlach EPI chun comhoiriúnacht a dhéanamh leis an gcuid is mó de na huirlisí Epitaxial MOCVD agus CVD a thaisceann sileacain, cairbíd sileacain nó leathsheoltóirí cumaisc. Tá an geoiméadracht optamaithe deartha chun na comhpháirteanna soceptor agus barr den chóras sealbhóra sliseog a chur in oiriúint le hailíniú beacht, dáileadh teasa uilíoch agus cobhsaíocht i rothlú sliseog. An t -aonfhoirmeacht agus an chomhlárnacht den scoth atá ag an tréith fáinne chun aonfhoirmeacht ciseal eipiciúil a allmhairiú agus lochtanna ar dhromchla an tsleasa a íoslaghdú.

Ceann de na buntáistí a bhaineann leis an bhfáinne graifít brataithe SIC seo ná an t -iompar astaíochta cáithníní ísle a íoslaghdaíonn éilliú an tsliocht agus é i bpróiseáil. Laghdaíonn an ciseal SIC cáithníní carbóin a ghiniúint agus a ghiniúint i gcomparáid le comhpháirteanna graifíte gan brataithe chun timpeallachtaí glana seomra agus rátaí táirgeachta níos airde a bhaint amach. Ina theannta sin, cuirtear leis an bhfriotaíocht turraing teirmeach den scoth atá ag an struchtúr ilchodach saol an táirge, laghdaíonn sé costais athsholáthair agus oibríochta níos ísle do mhonaróirí leathsheoltóra.

Déantar gach fáinní bun a sheiceáil go toiseach, déantar caighdeán dromchla a sheiceáil, agus tástáladh timthriall teirmeach chun a chinntiú go gcomhlíonann siad riachtanais chomhshaoil shuntasacha thimpeallacht mhonaraithe leathsheoltóra. Ina theannta sin, tá an tiús sciath dromchla SIC níos mó ná leordhóthanach do chomhoiriúnacht fhéideartha meicniúil agus teirmeach; Scrúdaítear bratuithe SIC go rialta le haghaidh tosca greamaitheachta a chinntíonn nach dtarlaíonn feannadh nó scealpadh nuair a bhíonn na fáinní bun nochta do sil -leagan ardteochta. Is féidir an fáinne bun cothrom a oiriúnú le cúpla éagsúlachtaí maoine mion -tríthoiseacha agus sciath le haghaidh dearadh agus próiseas imoibreora aonair.

Tairgeann an fáinne bun EPI EPI SEMICOREX 8 orlach ó Semicorex cothromaíocht den scoth idir láidreacht, friotaíocht cheimiceach, agus tréithe teirmeacha fabhracha do chórais fáis eipiciúil. Mar gheall ar na buntáistí aitheanta a bhaineann le graifít brataithe SIC, soláthraíonn an fáinne bun seo cáilíocht níos airde, dóchúlacht éillithe níos ísle, agus saol seirbhíse níos faide in aon phróiseas sil -leagain ardteochta. Rinneadh innealtóireacht ar an bhfáinne bun seo le húsáid le fás eipiciúil ábhair Si, SIC, nó III-V; Déantar compord iontaofa, in -athdhéanta a thairiscint i dtáirgeadh ábhar leathsheoltóra éilitheach.