Is é Bád Wafer Semicorex SiSiC an chomhpháirt ríthábhachtach i leathsheoltóir, tá sé déanta as ceirmeach Silicon Carbide ard-íonachta le sciath CVD. Is féidir le Semicorex na réitigh is oiriúnaí a thairiscint bunaithe ar riachtanais an chustaiméara agus tá sé cáilithe ag comhpháirtithe ar fud an domhain.*
I dtírdhreach iomaíoch na déantúsaíochta leathsheoltóra agus cealla gréine, tá sé ríthábhachtach tréchur a chothromú le fad saoil na gcomhpháirteanna. ÁrSiSiC Déantar Innealtóireacht Wafer Boat le bheith ina “capall oibre tionsclaíochta” le haghaidh oibríochtaí foirnéise ardteochta. Trí úsáid a bhaint as an bpróiseas nasctha imoibriúcháin, seachadaimid iompróir a thairgeann neart meicniúil níos fearr agus friotaíocht turrainge teirmeach i gcomparáid le Grianchloch traidisiúnta agus criadóireacht chaighdeánach.
Murab ionann agus SiC sintéaraithe, a fhoirmítear trí chomhdhlúthú púdar ardbhrú,Bád Wafer SiSiC a tháirgtear trí réamhfhoirm phóiriúil charbóin a insíothlú le sileacan leáite. Is é an toradh a bhíonn ar an bpróiseas “Ceangalú Frithghníomhaithe” ábhar le crapadh beagnach nialas le linn déantúsaíochta, rud a ligeann do tháirgeadh ailtireachtaí bád casta ar scála mór le cruinneas tríthoiseach dochreidte.
Ceann de na dúshláin is tábhachtaí i bpróiseáil bhaisc ná timthriall tapa "tarraingt" na foirnéise. Is minic a scoilteann iompróirí Grianchloch faoi strus teirmeach. Tá modal réabtha i bhfad níos airde ag SiSiC (MOR) agus seoltacht theirmeach den scoth. Ligeann sé seo dár mbáid rampaí tapa teochta a sheasamh gan riosca teip struchtúrach, rud a aistriú go díreach chuig níos lú aga neamhfhónaimh trealaimh.
De réir mar a mhéadaíonn méideanna sliseog agus éiríonn baisceanna níos mó chun tréchur a uasmhéadú, méadaítear an meáchan ar an iompróir. Léiríonn ár mbáid SiSiC friotaíocht scoith eisceachtúil. Cé go bhféadfadh ábhair eile slog nó dlúith faoi ualaí troma ag 1,250°C, coimeádann SiSiC a chéimseata, ag cinntiú go bhfanann comhthreomhaireacht sliotán sliseog foirfe thar na mílte timthriallta.
Tá ár mbáid SiSiC deartha le haghaidh timpeallachtaí crua ceimiceacha. Tá an t-ábhar resistant ó dhúchas do na gáis chreimneach a úsáidtear i bpróisis LPCVD agus Idirleata. Ina theannta sin, déantar cóireáil ar an dromchla chun a chinntiú nach bhfuil aon imirce "saor sileacain" ann, ag soláthar timpeallacht chobhsaí, glan a chosnaíonn sláine leictreach do sliseog.
| Maoin |
SiSiC (Ceangailte Frithghníomh) |
Grianchloch Traidisiúnta |
Sochar Tionscail |
| Teocht Uasta Úsáide |
1,350°C – 1,380°C |
~1,100°C |
Solúbthacht próisis níos airde |
| Seoltacht Theirmeach |
> 150 W/m·K |
1.4 W/m·K |
Teas tapa, aonfhoirmeach |
| Modal Leaisteacha |
~330 GPa |
~70 GPa |
Uimh sagging faoi ualaí troma |
| porosity |
< 0.1% |
0% |
Ionsú íosta gáis |
| Dlús |
3.02 - 3.10 g / cm³ |
2.20 g / cm³ |
Cobhsaíocht struchtúrach ard |
Tá ár mBád Wafer SiSiC ag luí leis na OEManna foirnéise is mó ar domhan, lena n-áirítear TEL (Tokyo Electron), ASM, agus Kokusai Electric. Soláthraímid réitigh saincheaptha le haghaidh:
Foirnéisí Idirleata Cothrománach: Báid fhada le sliotán ardchruinneas le haghaidh sliseog 150mm agus 200mm.
Córais Foirnéise Ingearach: Dearaí ísealmhaise a fheabhsóidh sreabhadh gáis agus aonfhoirmeacht teirmeach.
Táirgeadh Cille Gréine PV: iompróirí SiSiC speisialaithe atá deartha le haghaidh idirleathadh POCl3 ard-toirte, ag tairiscint saol seirbhíse 5-10x níos faide ná Grianchloch.
Léargas Saineolaithe: Maidir le próisis os cionn 1,380 ° C, molaimid ár líne Sintered SiC. Mar sin féin, d'fhormhór mór na gcéimeanna Idirleata, Ocsaídithe, agus LPCVD, soláthraíonn SiSiC an cóimheas feidhmíochta-go-réise is cost-éifeachtaí sa tionscal.
Saineolas Ábhar: Ní fhaighimid ach púdar alfa-Sic ard-íonachta agus sileacain de ghrád leictreonach dár bpróiseas nasctha imoibrithe.
Innealtóireacht Bheachtais: Ligeann ár gcumas meilt CNC lamháltais sliotán laistigh de ± 0.02mm, ag laghdú creathadh agus briseadh wafer.
Inbhuanaitheacht & ROI: Trí aistriú ó Grianchloch go SiSiC, is gnách go bhfeiceann fabs laghdú 40% ar chaiteachas inchaite bliantúil mar gheall ar an minicíocht athsholáthair laghdaithe go suntasach.
Tá Deimhniú Comhlíonta (CoC) agus tuairisc chigireachta iomlán tríthoiseach ag gabháil le gach bád a sheolaimid, ag cinntiú go bhfuil do threalamh próisis réidh le suiteáil láithreach sa seomra glan.