Má theastaíonn uait susceptor graifít ardfheidhmíochta le húsáid in iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra, is é an Semicorex Silicon Epitaxial Deposition In Barrel Reactor an rogha iontach. Soláthraíonn a sciath SiC ard-íonachta agus seoltacht theirmeach eisceachtúil airíonna cosanta agus dáileadh teasa níos fearr, rud a fhágann gurb é an rogha is fearr le haghaidh feidhmíocht iontaofa agus comhsheasmhach sna timpeallachtaí is dúshlánaí fiú.
Is táirge iontach é Teistíocht Eipiteacsach Sileacain Semicorex In Imoibreoir Bairille chun sraitheanna epixial a fhás ar sceallóga wafer. Is iompróir grafite brataithe SiC ard-íonachta é atá an-resistant do theas agus creimeadh, rud a fhágann go bhfuil sé foirfe le húsáid i dtimpeallachtaí foircneacha. Tá an susceptor bairille seo oiriúnach do LPE, agus soláthraíonn sé feidhmíocht theirmeach den scoth, rud a chinntíonn cothromaíocht an phróifíl teirmeach. Ina theannta sin, ráthaíonn sé an patrún sreabhadh gáis laminar is fearr agus cuireann sé cosc ar éilliú nó neamhíonachtaí ó idirleathadh isteach sa wafer.
Ag Semicorex, dírímid ar tháirgí ardchaighdeáin, cost-éifeachtach a sholáthar dár gcustaiméirí. Tá buntáiste praghais ag ár Silicon Epitaxial Deposition In Barrel Reactor agus déantar é a onnmhairiú chuig go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Tá sé mar aidhm againn a bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach, ag seachadadh táirgí ardchaighdeáin comhsheasmhacha agus seirbhís eisceachtúil do chustaiméirí.
Paraiméadair Taiscí Eipiteaisín Sileacain san Imoibreoir Bairille
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Thaisceadh Epitaxial Sileacain in Imoibreoir Bairille
- Tá dlús maith ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain araon agus is féidir ról cosanta maith a imirt i dtimpeallachtaí oibre ardteochta agus creimneach.
- Tá maoile dromchla an-ard ag an sopóir brataithe cairbíde sileacain a úsáidtear le haghaidh fás criostail aonair.
- Laghdaigh an difríocht i gcomhéifeacht leathnú teirmeach idir an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, feabhas a chur go héifeachtach ar an neart nasctha chun scoilteadh agus dílamadh a chosc.
- Tá seoltacht ard teirmeach ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, agus tá airíonna dáileadh teasa den scoth.
- Leáphointe ard, friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard, friotaíocht creimeadh.