Tugtar sliseog tanaí d'ábhar leathsheoltóra mar wafer, atá comhdhéanta d'ábhar aonchriostail an-íon. I bpróiseas Czochralski, déantar tinne sorcóireach de leathsheoltóir monacriostalach an-íon trí chriostail síl a tharraingt ó leá.
Tá Silicon Carbide (SiC) agus a polytypes mar chuid den tsibhialtacht dhaonna le fada an lá; Tá leas teicniúil an chomhdhúil chrua chobhsaí seo réadaithe i 1885 agus 1892 ag Cowless agus Acheson chun críocha meilt agus gearrtha, rud a d'fhág go ndearnadh é ar scála mór.
Déanann airíonna fisiceacha agus ceimiceacha den scoth cairbíd sileacain (SiC) ina iarrthóir feiceálach d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear feistí ard-teocht, ardchumhachta, agus ard-minicíochta agus optoelectronic, comhpháirt struchtúrach in imoibreoirí comhleá, ábhar cumhdaigh le haghaidh gás-fhuaraithe. imoibreoirí eamhnaithe, agus maitrís támh le haghaidh tras-athrú Pu. Baineadh úsáid go forleathan as ilchineálacha éagsúla SiC, mar shampla 3C, 6H, agus 4H. Is teicníocht ríthábhachtach é ionchlannú ian chun dopants a thabhairt isteach go roghnach chun feistí Si-bhunaithe a tháirgeadh, chun sliseog p-cineál agus n-chineál SiC a dhéanamh.
An tinneslisnithe ansin chun sliseog sic cairbíde sileacain a dhéanamh.
Airíonna Ábhar Silicon Carbide
Polytype |
Criostail Aonair 4H |
Struchtúr criostail |
heicseagánach |
Bandgap |
3.23 eV |
Seoltacht theirmeach (n-cineál; 0.020 ohm-cm) |
a~4.2 W/cm • K @ 298 K c~3.7 W/cm • K @ 298 K |
Seoltacht theirmeach (HPSI) |
a~4.9 W/cm • K @ 298 K c~3.9 W/cm • K @ 298 K |
Paraiméadair laitíse |
a=3.076 Å c=10.053 Å |
Mohs cruas |
~9.2 |
Dlús |
3.21 g/cm3 |
Teirmeach. Comhéifeacht Leathnaithe |
4-5 x 10-6/K |
Cineálacha éagsúla sliseog SiC
Tá trí chineál ann:n-cineál sic wafer, wafer sic cineál paguswafer sic leath-inslithe ardíonachta. Tagraíonn dópáil d'ionchlannú ian a thugann neamhíonachtaí isteach do chriostail sileacain. Ligeann na dopants seo d’adaimh an chriostail naisc ianach a fhoirmiú, rud a fhágann gur eitneach é an criostal a bhí tráth intreach. Tugann an próiseas seo isteach dhá chineál eisíontais; Cineál N agus cineál P. Braitheann an ‘cineál’ ar na hábhair a úsáidtear chun an t-imoibriú ceimiceach a chruthú. Is é an difríocht idir wafer N-cineál agus P-cineál SiC an t-ábhar príomhúil a úsáidtear chun imoibriú ceimiceach a chruthú le linn dópála. Ag brath ar an ábhar a úsáidfear, beidh cúig nó trí leictreon ag an bhfithis sheachtrach a dhéanfaidh leictreon amháin luchtaithe go diúltach (Cineál N) agus ceann amháin a luchtaítear go deimhneach (cineál P).
Úsáidtear sliseoga N-cineál SiC go príomha i bhfeithiclí nua fuinnimh, tarchur ardvoltais agus fostáisiún, earraí bána, traenacha ardluais, mótair, inverters fótavoltach, soláthairtí cumhachta pulse, etc., tá na buntáistí a bhaineann le caillteanas fuinnimh trealaimh a laghdú, a fheabhsú. iontaofacht trealaimh, laghdú ar mhéid an trealaimh agus feabhas a chur ar fheidhmíocht trealaimh, agus tá buntáistí do-athsholáthair acu maidir le feistí leictreonacha cumhachta a dhéanamh.
Úsáidtear an wafer SiC leath-inslithe ardíonachta go príomha mar fhoshraith feistí RF ardchumhachta.
Epitaxy - Taiscí Nítríde III-V
Sraitheanna epitaxial SiC, GaN, AlxGa1-xN agus InyGa1-yn ar fhoshraith SiC nó ar fhoshraith sapphire.
Soláthraíonn Semicorex cineálacha éagsúla sliseog SiC 4H agus 6H. Táimid tar éis monaróir agus soláthraí na sliseog le blianta fada. Tá buntáiste praghais maith ag ár 6 Inch N-cineál SiC Wafer dúbailte-snasta agus clúdaíonn sé an chuid is mó de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSoláthraíonn Semicorex cineálacha éagsúla sliseog SiC 4H agus 6H. Táimid ag monaróir agus ag soláthraí táirgí chomhdhúile sileacain le blianta fada. Tá buntáiste praghais maith ag ár bhfoshraith SiC 4 Inch N-cineál agus clúdaíonn sé an chuid is mó de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSoláthraíonn Semicorex cineálacha éagsúla sliseog SiC 4H agus 6H. Táimid ag monaróir agus ag soláthraí táirgí chomhdhúile sileacain le blianta fada. Tá buntáiste praghais maith ag ár Wafer Semi-Inslithe HPSI SiC Wafer 6-snasta dúbailte agus clúdaíonn sé an chuid is mó de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSoláthraíonn Semicorex cineálacha éagsúla sliseog SiC 4H agus 6H. Táimid ag monaróir agus ag soláthraí foshraitheanna wafer le blianta fada. Tá buntáiste praghais maith ag ár bhfoshraith 4 Inch Semi-Inslithe HPSI SiC Double-side Polished Wafer agus clúdaíonn sé an chuid is mó de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán