Iompróir Bád Wafer SiC

I dtírdhreach na déantúsaíochta leathsheoltóra atá ag forbairt go tapa - go háirithe táirgeadh feistí cumhachta SiC agus GaN le haghaidh EVs, bonneagar 5G, agus fuinneamh in-athnuaite - ní féidir iontaofacht do chrua-earraí láimhseála sliseog a phlé. Léiríonn Iompróir Bád Wafer Semicorex SiC buaic na hinnealtóireachta ábhair, atá deartha chun comhpháirteanna traidisiúnta Grianchloch agus graifít a athsholáthar i dtimpeallachtaí ardteochta, ard-íonachta.

Cén fáth gurb é Silicon Carbide Rogha an Tionscail

De réir mar a laghdaítear nóid leathsheoltóra agus de réir mar a aistríonn méideanna sliseog i dtreo 200mm (8 n-orlach), déantar bac ar theorainneacha teirmeacha agus ceimiceacha na Grianchloch. Baintear úsáid as ár n-iompróir Bád Wafer SiC a innealtóireachtSintered Sileacain Carbidenó SiC atá brataithe le CVD, a thairgeann meascán uathúil de sheoltacht theirmeach, neart meicniúil, agus táimhe ceimiceach.

1. Cobhsaíocht Teirmeach Eisceachtúil

Is minic a bhíonn "slumping" nó dífhoirmiú ag baint le hábhair thraidisiúnta nuair a nochtar iad do na teochtaí foircneacha a theastaíonn le haghaidh idirleathadh agus anáil. Coinníonn ár Iompróir Bád Wafer SiC sláine struchtúrach ag teochtaí os cionn 1,600 ° C. Cinntíonn an chobhsaíocht ard teirmeach seo go bhfanann sliotáin sliseog ailínithe go foirfe, rud a chuireann cosc ​​ar "greann" wafer nó subh le linn aistrithe róbatacha uathoibrithe.

2. Ard-íonachta agus Éilliú Íseal

I dtimpeallacht seomra glan, is iad na cáithníní namhaid an toraidh. Téann ár n-iompróirí bád faoi phróiseas brataithe CVD (Sistiúchán Gaile Ceimiceach) dílsithe. Cruthaíonn sé seo dromchla dlúth, neamh-scagach a fheidhmíonn mar bhac ar eisíontas a bheith amuigh. Le leibhéil eisíontais mhiotalacha ultra-íseal, cinntíonn ár n-iompróirí go bhfanann do sliseog - bíodh Sileacan nó Sileacan Carbide - saor ó thras-éilliú le linn timthriallta ardteasa criticiúla.

3. CTE Meaitseála (Comhéifeacht Leathnú Teirmeach)

Ceann de na príomhchúiseanna le strus wafer agus línte duillín is ea éagothroime i leathnú teirmeach idir an t-iompróir agus an wafer. Tá ár mbáid SiC deartha le CTE a mheaitseálann go dlúth le sliseog SiC. Laghdaíonn an sioncrónú seo strus meicniúil le linn na gcéimeanna tapa téimh agus fuaraithe (RTP), rud a fheabhsaíonn go mór an toradh bás iomlán.

Sonraíochtaí Teicniúla Buntábhachtacha

Feidhmchláir san Ard-Dhéantúsaíocht

Tá ár Iompróir Bád Wafer SiC optamaithe le haghaidh na bpróiseas "crios te" is déine san fab:

• LPCVD & PECVD: Cuireann ardfhriotaíocht in aghaidh réamhtheachtaithe ceimiceacha cosc ​​ar an mbád ó dhíghrádú, rud a chinntíonn saolré feiste próisis comhsheasmhach.
• Ocsaídiú Ardteochta: Murab ionann agus Grianchloch, ní díghalaíonn SiC, ag cothabháil a neart thar na mílte timthriallta.
• Idirleathadh agus Annealing: Cinntíonn aonfhoirmeacht teirmeach sármhaith ar fud an bháid go mbíonn an phróifíl theirmeach céanna ag gach sliseog sa bhaisc.
• SiC Epitaxy: deartha go sonrach chun seasamh in aghaidh na timpeallachtaí crua a theastaíonn chun sraitheanna epitaxial a fhás ar fhoshraitheanna SiC.

Comhlíonann Marthanacht Éifeachtúlacht Costas

Cé go bhfuil an infheistíocht tosaigh i crua-earraí SiC níos airde ná Grianchloch, tá an Costas Iomlán Úinéireachta (TCO) i bhfad níos ísle. Tógtar ár n-iompróirí le haghaidh fad saoil, go minic maireann siad 5 go 10 n-uaire níos faide ná ábhair thraidisiúnta. Laghdaíonn sé seo minicíocht aga neamhfhónaimh uirlisí d’athsholáthar páirteanna agus laghdaítear an baol go gclisfeadh tubaisteach ar bhád a d’fhéadfadh baisc iomlán de sliseog costasach a mhilleadh.

Muinín as do Phróiseas le hInnealtóireacht Chruthaithe

Tuigimid go bhfuil "maith go leor" riamh go leor sa tionscal leathsheoltóra. Cuimsíonn ár bpróiseas déantúsaíochta cigireacht tríthoiseach 100% CMM agus glanadh ultrasonaic ard-íonachta roimh phacáistiú i bhfolús.

Cibé an bhfuil tú ag scála suas líne gléas cumhachta 200mm SiC nó ag leas iomlán a bhaint as próiseas oidhreachta 150mm, tá ár bhfoireann innealtóireachta ar fáil chun páirc sliotán, fad bád, agus cumraíochtaí a láimhseáil a d'oirfeadh do riachtanais foirnéise ar leith.