Báid ingearacha sic

Is iompróirí wafer innealtóireachta iad na báid ingearacha semicorex SIC, atá deartha agus monaraithe chun an chobhsaíocht theirmeach, mheicniúil agus cheimiceach is airde a sholáthar do phróiseáil leathsheoltóra foirnéise ingearach. Tógtha as ard-íonachtSileacan Cairbíd, Creidimid gurb iad an chothromaíocht is fearr idir láidreacht, marthanacht, agus glaineacht le haghaidh próiseála teirmeach an -ard -ard, a tugadh faoi deara mar ocsaídiú, idirleathadh, LPCVD, agus anála i gcórais foirnéise ingearacha.

Éilíonn na timpeallachtaí próiseála foirnéise ingearacha córas tacaíochta sliseog ar féidir leo neamhchosaintí a sheasamh arís agus arís eile ag teocht ard, go minic níos mó ná 1,200 ° C, agus fanann siad seasmhach ó thaobh na dtréimhs de gan saincheisteanna éillithe. Tá báid ingearacha Sic ag dul i léig ina n -stóinseacht sna cásanna seo mar gheall ar airíonna meicniúla agus teirmeacha intreacha cairbíd sileacain athchúrsáilte nó CVD. Cinntíonn a gcomhéifeacht leathnaithe teirmeach an -íseal an leathanach nó an saobhadh íosta mar gheall ar rothaíocht theirmeach thapa. Ina theannta sin, cuireann an seoltacht theirmeach ard an aonchineálacht teochta áitiúil is mó ar fáil ar fud gach sliseog, atá ríthábhachtach do chomhsheasmhacht sliseog-go-werfer i dtiús ciseal, próifílí dópála, agus feidhmíocht leictreach; Gnéithe tábhachtacha de dhéantúsaíocht ardtoirte sa tionscal leathsheoltóra.

I gcomparáid le báid thraidisiúnta Grianchloch, seachadann báid ingearacha Sic neart meicniúil níos fearr agus saol seirbhíse leathnaithe. Is iondúil go mbíonn Grianchloch sobhriste agus díomá le himeacht ama, go háirithe i bpoitigéirí foirnéise ionsaitheach, as a dtagann costais athsholáthair níos airde agus cur isteach ar tháirgeadh féideartha. I gcodarsnacht leis sin, coinníonn Silicon Carbide a sláine fiú tar éis nochtadh fada do gháis chreimneacha amhail clóirín, HCl, nó amóinia, atá coitianta i bpróisis éagsúla idirleathadh agus LPCVD. Laghdaíonn a chaitheamh eisceachtúil agus a fhriotaíocht ocsaídiúcháin go mór giniúint na gcáithníní, ag cuidiú le dromchlaí sliseog a chosaint ó éilliú agus foirmiú lochtanna.

Cuireann báid ingearacha SIC sochar suntasach ar fáil freisin maidir le próiseáil ultra-glan. Déantar ábhar SIC ard-íonachta a phróiseáil faoi dhíograis dhian chun rianú a dhéanamh ar mhiotail éillithe rian inaitheanta ar féidir leo cur isteach ar thréithe oibríochtúla feistí leathsheoltóra. Tá dromchlaí bád ingearacha SIC críochnaithe go maith le gnéithe dronuilleacha a íoslaghdaíonn an seans go ndéanfaí micrea-cháithníní a shedding. Tá dromchlaí SIC támh go ceimiceach agus ní imoibríonn siad le gáis phróisis agus dá bhrí sin tá siad níos lú seans maith go n -éilliú. Maidir leis seo, tá báid ingearacha SIC oiriúnach go maith do thús tosaigh na líne (FEL) agus ag deireadh na hoibríochtaí próiseála sliseog líne (BEOL).

Tairgeann báid ingearacha SIC solúbthacht dearaidh freisin. Is féidir le gach bád ingearach a bheith sonrach do dhearadh chun freastal ar thrastomhais il-wafer (150 mm, 200 mm nó 300 mm sliseog) agus is féidir uimhir sliotán agus spásáil a úsáid chun riachtanais phróisis a chomhlíonadh. Ceadaíonn meaisínithe beachtais agus rialú tríthoiseach ailíniú sliseog cuí agus tacaíocht sliseog a íoslaghdú ag íoslaghdú an dóchúlachta go dtarlóidh aon micrea-scratches nó scoilteanna struis le linn luchtú, próiseáil agus díluchtú. Chomh maith leis sin, má tá aonfhoirmeacht teochta níos fearr agus / nó nó nó mais theirmeach níos lú ag teastáil le haghaidh próisis ar leith, is féidir geoiméadraí agus dearaí sliotán optamaithe a ionchorprú i bhfoirmíochtaí bád ingearach SIC, gan aon airíonna meicniúla a íobairt.

Buntáiste eile is ea cothabháil agus éifeachtúlacht oibríochtúil. Tógáil dochta naSicLaghdaíonn báid ingearacha an t -am agus an mhinicíocht athsholáthair, rud a laghdaíonn an t -am neamhfhónaimh nó an costas úinéireachta. Ceadaíonn friotaíocht turraing teirmeach SIC do thimthriallta teasa agus fuaraithe níos giorra chun tréchur níos airde a sheachadadh ar línte táirgthe. Tá cothabháil nó glanadh na mbád ingearach Sic an -simplí freisin; Is féidir leis an ábhar na próisis glantacháin fliucha nó thirim is traidisiúnta a bheith coitianta i bhfabs leathsheoltóra amhail glanadh ceimiceach le haigéid agus bácáil ardteochta.

San aois nua -aimseartha seo de dhéantús leathsheoltóra sofaisticiúla ina bhfuil tábhacht ag baint le feabhsú táirgeachta, rialú éillithe agus cobhsaíocht sa phróiseas, cuireann báid ingearacha SIC buntáiste teicneolaíochta fíor ar fáil. Déileálann siad go maith leis na dúshláin fhisiceacha agus cheimiceacha a bhaineann le feidhmchláir foirnéise ingearacha agus cuireann siad le leas iomlán a bhaint as an bpróiseas trí shláine wafer, torthaí comhsheasmhacha agus saol níos faide trealaimh a sheachadadh.