Lámha robot sic

Is iad lámha robot semicorex SIC na hiarmhairteoirí deiridh is déanaí atá deartha le haghaidh feidhmchlár aistrithe wafer róbataic i réimse na déantúsaíochta leathsheoltóra. Arna dhéanamh le hábhair ardfheidhmíochta, rinneamar innealtóireacht ar na lámha róbatacha seo le criadóireacht cairbíde sileacain (SIC) chun an táblaí teirmeach uasta, an chobhsaíocht cheimiceach, agus an neart meicniúil a sholáthar do thimpeallacht atá ag éirí níos géire de dhéantús nó de láimhseáil sliseog.

Tá ár ndílseánaigh chun cinn mar chuid lárnach dár lámha robot SICSileacan CairbídTá aithne air mar gheall ar a chruas ard (Mohs 9), seoltacht ard teirmeach, agus friotaíocht creimthe. Murab ionann agus ábhair thraidisiúnta ar nós alúmanaim nó cruach dhosmálta, tá SIC comhoiriúnach le timpeallacht phróiseála chrua na seomraí glana leathsheoltóra lena n -áirítear teochtaí arda próiseáilte agus gáis imoibríocha. Cuirimid marthanacht fhadtéarmach ar fáil agus laghdaímid éilliú, i gcomhréir leis an íonacht dhian a theastaíonn le haghaidh déantúsaíochta sliseog.

Baineann trealamh leathsheoltóra le lámha robot SIC úsáid as súchán brú diúltach chun an sliseog a fháil i.e.

Is iad "ardluais" agus "glaineacht" na príomhthréithe a bhaineann le trealamh láimhseála sliseog leathsheoltóra. Chun na tréithe seo a chomhlíonadh, tá riachtanais an -déine ag an trealamh maidir le feidhmíocht na gcomhpháirteanna a úsáidtear. Ós rud é go ndéantar an chuid is mó de na próisis i bhfolús, i dtimpeallacht ardteochta agus i ngás creimneach, ní mór airíonna fisiceacha den scoth a bheith ag an lámh láimhseála a úsáidtear sa trealamh, mar shampla: neart meicniúil ard, friotaíocht creimthe, friotaíocht ardteochta, friotaíocht a chaitheamh, cruas ard, insliú, etc., agus is féidir le hábhair cheirmeacha ardleibhéil freastal ar na coinníollacha seo.

Criadóireacht Carbide SiliconBíodh airíonna fisiceacha uigeachta dlúth, cruas ard, friotaíocht ard -chaitheamh, chomh maith le friotaíocht teasa maith, neart meicniúil den scoth, insliú maith i dtimpeallacht ardteochta, friotaíocht creimthe maith agus airíonna fisiceacha eile. Is ábhar iontach é chun trealamh leathsheoltóra a láimhseáil.

Ag aithint go n -athraíonn ardáin róbatacha thar FABanna agus monaróirí uirlisí, tá ár lámha robot SIC ar fáil i raon méideanna caighdeánaithe agus is féidir iad a oiriúnú le haghaidh cumraíochtaí uirlisí uathúla. Is féidir comhéadain gléasta, geoiméadraí méar, agus gnéithe tacaíochta sliseog a chur in oiriúint chun freastal ar threalamh agus riachtanais phróisis ar leith. Cibé an bhfuil tú ag aistriú sliseoga laistigh d'uirlisí braisle, seomraí folúis, nó córais FOUP, comhtháthaíonn ár lámha robot go réidh le brandaí róbataice ceannródaíocha.

Déantar nósanna imeachta dian glantacháin, cigireachta agus pacáistithe ar gach lámh robot SIC chun a chinntiú go gcomhlíontar caighdeáin seomra glana Aicme 1. Laghdaíonn an dromchla neamh-phorasach, frith-statach de SIC greamaitheacht na gcáithníní, agus cuireann an struchtúr láidir in aghaidh micreafhiontair a d'fhéadfadh a bheith mar thoradh ar ghiniúint na gcáithníní le himeacht ama. Fágann sé seo go bhfuil siad oiriúnach do phróisis sliseog tosaigh i gcás ina bhféadfadh teip feiste a bheith mar thoradh ar fiú an t-éilliú is lú.

Ó ionchlannú epitaxy agus ian go PVD, CVD, agus CMP, tá muinín ag lámha robot SIC i ngach céim de dhéantús an fheiste leathsheoltóra. Mar gheall ar a bhfriotaíocht níos fearr i leith turraing teirmeach agus timpeallachtaí plasma tá siad fíor -riachtanach i línte leathsheoltóra loighic agus cumhachta, go háirithe nuair a úsáidtear foshraitheanna sliseog Sic.