Feadáin Próisis SiC

Is iad feadáin phróisis Semicorex SiC na comhpháirteanna struchtúracha tábhachtacha in ocsaídiú, idirleathadh, RTA/RTP sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra. Go ginearálta is feadán trastomhas mór é mar spás foirnéise imoibreora, déanfar na próisis cheimiceacha go léir a tharlóidh taobh istigh. Mar sin tá an neart, an friotaíocht turraing teirmeach araon pointí an-bhunúsacha don táirge.

Déantar na feadáin próisis SiC lesintéaraithe Silicon Carbide, is féidir é a bheith SiSiC, SSiC, nó RSiC, agus an sciath CVD SiC ar an dromchla, a bheidh ina ciseal íonachta ultra-ard. Is féidir leis an truailliú ó cháithníní, fuinseog, srl a chosc. Agus tá friotaíocht turraing teirmeach an-ard ag an ábhar, mar sin is féidir leis na feadáin phróiseas SiC fanacht cobhsaí i bhfriotaíocht teocht ard, agus cosc ​​​​a chur ar na neamhíonachtaí ó deascadh ag teocht ard agus mar sin truailliú a dhéanamh ar an gcomhshaol.

Tá na feadáin phróiseas SiC seo deartha le húsáid in atmaisféir le gás imoibríoch (ocsaigin), gás sciath (nítrigin), agus méideanna íosta de ghás clóiríd hidrigine, agus cuireann siad friotaíocht ceimiceach den scoth, cobhsaíocht theirmeach, agus íonacht ábhair go 1250 ° C. Comhcheanglaíonn Feadáin Próisis Semicorex SiC déantúsaíocht priontála 3D úrscothach le sciath sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) chun feidhmíocht agus saolré níos fearr a sholáthar faoi na coinníollacha teirmeacha agus ceimiceacha is déine.

Déantar na Feadáin Próisis Semicorex SiC a tháirgeadh trí phróiseas múnlaithe comhtháite priontála 3D seachas gnáthfheadán brúite nó cóimeáilte. Ceadaíonn an próiseas déantúsaíochta seo struchtúr leanúnach, comhsheasmhach ceirmeach gan aon hailt agus limistéir lag, rud a chruthaíonn ardleibhéal castachta agus dílseachta tríthoiseach, a fhéadfaidh tiúchan strus a mhaolú agus neart meicniúil a fheabhsú. Thairis sin, soláthraíonn an struchtúr monolithic séala gás-daingean nádúrtha, ag laghdú éillithe agus sceitheadh ​​le linn próisis ardteochta.

Tá anSiCIs ábhar eisíontais ultra-íseal é an comhlacht (< 300 ppm), ag soláthar íonachta ábhar den scoth agus cobhsaíocht d'atmaisféar imoibríoch. Ina theannta sin, tá an feadán brataithe le ciseal chomhdhúile sileacain CVD (< 5 ppm) chun friotaíocht creimeadh agus cosaint dromchla a fheabhsú.

Soláthraíonn Semicorex an tseirbhís saincheaptha, is féidir linn a tháirgeadh de réir líníochtaí na gcustaiméirí, chun freastal ar riachtanais sonraíochtaí riachtanacha. Mar sin is féidir feadáin phróiseas Semicorex SiC a bheith oiriúnach mar mhalairt, ní hamháin le haghaidh foirnéise cothrománach, ach freisin foirnéisí ingearacha.