Feadáin Foirnéise le haghaidh LPCVD

Is próiseas sil-scannán tanaí é an próiseas LPCVD a dhéantar faoi choinníollacha folúis ísealbhrú (go hiondúil idir 0.1 agus 1 Torr). Is féidir leis na coinníollacha oibriúcháin folúis ísealbhrú seo cuidiú le scaipeadh aonfhoirmeach gás réamhtheachtaithe a chur chun cinn ar fud an dromchla wafer, rud a fhágann go bhfuil sé iontach do thaisceadh beacht ábhar lena n-áirítear Si₃N₄, poly-Si, SiO₂, PSG, agus scannáin miotail áirithe mar tungstain.

feadáin foirnéiseIs iad na comhpháirteanna riachtanacha do LPCVD, a fheidhmíonn mar na seomraí cruthú cobhsaí le haghaidh próiseála LPCVD wafer agus a chuireann le aonfhoirmeacht scannán den scoth, clúdach céim eisceachtúil, agus cáilíocht scannán ard na sliseog leathsheoltóra.

Tá na buntáistí a bhaineann le feadáin foirnéise Semicorex do LPCVD

Feidhmíocht séalaithe 1.Reliable

Déantar feadáin foirnéise Semicorex do LPCVD ag baint úsáide as teicneolaíocht priontála 3D, a bhfuil struchtúr gan uaim, lárnach aige. Seachnaíonn an struchtúr bunúsach seo atá saor ó laige na seams agus na rioscaí sceite a bhaineann le próisis táthú nó cóimeála traidisiúnta, rud a chinntíonn séalaithe próisis níos fearr.  Tá feadáin foirnéise Semicorex le haghaidh LPCVD oiriúnach go háirithe do phróisis ísealbhrú, ardteochta LPCVD, a fhéadfaidh sceitheadh ​​​​gáis próisis agus cur isteach aeir lasmuigh a sheachaint go mór.

Airíonna teirmeach 2.Excellent

Déantar feadáin foirnéise Semicorex don LPCVD, a mhonaraítear as amhábhair grád leathsheoltóra ardchaighdeáin, le seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht turraing teirmeach den scoth. Déanann na hairíonna teirmeacha sármhaithe seo feadáin foirnéise Semicorex chun go n-oibreoidh an LPCVD go cobhsaí ag teochtaí idir 600 agus 1100 ° C agus soláthraíonn siad dáileadh teochta aonfhoirmeach le haghaidh próiseála teirmeach ardcháilíochta wafer.

Rialú glaineachta 3.Strict

Rialaíonn Semicorex glaineacht na feadáin foirnéise ag tosú ag an gcéim roghnúcháin ábhair. Deonaíonn úsáid amhábhar ardíonachta feadáin foirnéise Semicorex do LPCVD cion íseal eisíontais gan mheaitseáil. Déantar leibhéal eisíontais an ábhair mhaitrís a rialú faoi bhun 100 PPM agus coimeádtar an t-ábhar sciath CVD SiC faoi bhun 1 PPM. Ina theannta sin, déantar cigireacht dhian ar ghlaineacht ar gach feadán foirnéise sula seachadadh chun éilliú eisíontais a chosc le linn an phróisis LPCVD.

4.Uniform agus cosaint sciath dlúth

Trí thaisceadh gaile ceimiceach, tá feadáin foirnéise Semicorex do LPCVD clúdaithe go daingean le sciath SiC dlúth aonfhoirmeach. iad seoBratuithe CVD SiCgreamaitheacht láidir a thaispeáint, rud a sheachnaíonn go héifeachtach na rioscaí a bhaineann le feannadh sciath agus díghrádú na gcomhpháirteanna fiú nuair a bhíonn sé faoi lé coinníollacha crua ardteochta agus creimneach.