Tógtar Fáinní Fócais SiC ard-íonachta Semicorex chun cinn chun na timpeallachtaí foircneacha i seomraí eitse plasma (nó eitse tirim) a sheasamh. Dírímid ar thionscail leathsheoltóra cosúil le sraitheanna chomhdhúile sileacain agus leathsheoltóra epitaxy. Tá buntáiste praghais maith ag ár gcuid táirgí agus clúdaíonn siad go leor de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Soláthraíonn Semicorex Fáinní Fócais SiC i ndáiríre cobhsaí do RTA, RTP nó glanadh ceimiceach crua. Tá Fáinní Fócais SiC nó fáinní imeall deartha chun aonfhoirmeacht eitse timpeall an chiumhais sliseog nó an imlíne a fheabhsú. Éilliú agus cothabháil neamhsceidealta a íoslaghdú le comhpháirteanna ardíonachta a ndearnadh innealtóireacht orthu le haghaidh déine na próiseála plasma etch. Is sciath chomhdhúile sileacain (SiC) dlúth, caitheamh-resistant é ár bhFáinní Fócais SiC le Cumhdach SiC. Tá airíonna ardchreimeadh agus friotaíocht teasa aige chomh maith le seoltacht theirmeach den scoth. Cuirimid SiC i sraitheanna tanaí ar an graifít ag baint úsáide as an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD).
Paraiméadair na bhFáinní Fócais SiC
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe na bhFáinní Fócais SiC
- Bratuithe Silicon Carbide CVD chun saol na seirbhíse a fheabhsú.
- Insliú teirmeach déanta as carbón docht íonaithe ardfheidhmíochta.
- Téitheoir agus pláta ilchodach Carbóin/Carbóin. - Tá seoltacht ard teirmeach ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, agus tá airíonna dáileadh teasa den scoth.
- Graifít ard-íonachta agus sciath SiC le haghaidh friotaíocht poll bioráin agus saolré níos airde