susceptors pláinéadacha atá brataithe le SiC

Is comhpháirt tacaíochta fíor-riachtanach iad na foraiseoirí pláinéadacha atá brataithe le Semicorex SiC atá deartha le haghaidh fás epitaxial leathsheoltóra i dtrealamh Aixtron G2, ina bhfuil siad in ann tacú go daingean le sliseog agus rothlú ar mhodh tairiscint phláinéidigh. Ar an mbealach seo, is féidir aonfhoirmeacht theirmeach bheacht agus dáileadh aonfhoirmeach gáis ar fud an dromchla sliseog a bhaint amach go rathúil, rud a fhágann go bhfuil sil-leagan ciseal epitaxial ardcháilíochta ar sliseog.

Buntáistí a bhaineann le súdairí pláinéadacha atá brataithe le Semicorex SiC

1. Dearadh póca il-wafer

Semicorex SiC-brataithesusceptors pláinéadachgné dáileadh aonfhoirmeach de roinnt pócaí sliseog le toisí rialaithe go beacht. Tá na pócaí sliseog seo in ann na foshraitheanna sliseog a shealbhú go daingean le linn an phróisis fáis epitaxial, rud a d'fhéadfadh éagsúlachtaí próisis epitaxial a íoslaghdú go héifeachtach de bharr gluaiseacht gan iarraidh na bhfoshraitheanna wafer. Ina theannta sin, ceadaíonn an dearadh póca il-wafer seo d'ilfhoshraitheanna wafer dul faoi thaisceadh epitaxial ag an am céanna i rith próiseas amháin, ag feabhsú go mór éifeachtacht iomlán an phróisis fáis epitaxial.

2. Socrú Poll Sreabhadh Gáis Optamaithe

Ionchorpraíonn Semicorex sraith de bhealaí sreafa gáis a ndearnadh innealtóireacht chúramach orthu ina chuidSiC-caotedsusceptors pláinéadacha, a bheachtú leas iomlán a bhaint dinimic sreabhadh gáis agus aonfhoirmeacht teirmeach ar fud an dromchla wafer ar feadh an phróisis epitaxial. Cuireann an dearadh mhachnamhach seo ar chumas rialú cruinn ar ráta sreafa gáis agus dáileadh laistigh den seomra imoibrithe, rud atá riachtanach chun scannáin tanaí ard-chaighdeán, tiús ciseal aonfhoirmeach, agus feidhmíocht iontaofa gléas iomlán a bhaint amach.

3. Glaineacht Ultra-ard

Déantar súdairí pláinéadacha atá brataithe le Semicorex SiC a mhonarú le hábhair ultra-ard-íonachta agus leibhéil eisíontais thar a bheith íseal, a chomhlíonann riachtanais dhian glaineachta déantús leathsheoltóra go hiomlán. Laghdaíonn siad go héifeachtach éilliú sliseog de bharr outgassing miotalach, fiú amháin faoi na coinníollacha ard-teocht agus creimneach tipiciúil de na próisis epitaxial.

4. Saol seirbhíse fada buan

Tosaíonn rialú cáilíochta Semicorex lenár rogha dhian amhábhar. Déantar súdairí pláinéadacha atá brataithe le SiC a mhonarú go beacht ó ghraifít leathsheoltóra de ghrád agus de chomhdhúile sileacain, a thairgeann friotaíocht ardteochta agus friotaíocht creimeadh den scoth, rud a fhágann go seasann siad go foirfe leis na coinníollacha oibriúcháin ard-teocht ard-chreimneach epitaxial dúshlánach. Leis na hairíonna ábhartha den scoth seo, is féidir le hionadóirí pláinéadacha atá brataithe le Semicorex SiC a bhfeidhmíocht chomhsheasmhach agus a n-ionracas struchtúrach a choinneáil agus a gcuid damáiste dromchla agus meath feidhmíochta a sheachaint i ndlísheomraí imoibrithe ardteochta agus ard-chreimeadh, rud a chuireann go mór le saol seirbhíse na bhfalaitheoirí pláinéadacha atá brataithe le SiC.