Tráidire graifíte brataithe SIC

Is éard atá i gceist le tráidirí graifíte brataithe SEMICOREX SIC ná ábhair ard -ábhair a ndéantar innealtóireacht orthu go sonrach chun timpeallachtaí fáis epitaxial a éileamh. Sa tionscal faoi stiúir UV, go háirithe i monarú feistí bunaithe ar Algan, tá ról ríthábhachtach ag na tráidirí seo maidir le dáileadh teirmeach aonfhoirmeach, cobhsaíocht cheimiceach, agus saol fada seirbhíse a chinntiú le linn próisis sil-leagan gaile ceimiceach miotail-orgánach (MOCVD).

Tugann fás eipiciúil na n -ábhar Algan dúshláin uathúla mar gheall ar theochtaí ardphróisis, réamhtheachtaithe ionsaitheach, agus an gá le sil -leagan scannán an -aonfhoirmeach. Tá ár dtráidirí graifíte brataithe SIC deartha chun na dúshláin seo a chomhlíonadh trí sheoltacht theirmeach den scoth, ard -íonacht, agus friotaíocht eisceachtúil in aghaidh ionsaí ceimiceach a thairiscint. Soláthraíonn an croí graifít sláine struchtúrach agus friotaíocht turraing teirmeach, agus an dlúthSciath sicTairgeann sé bacainn chosanta i gcoinne speiceas imoibríoch amhail amóinia agus réamhtheachtaithe orgánacha miotail.

Is minic a úsáidtear tráidirí graifíte brataithe SIC mar chomhpháirt chun tacú le foshraitheanna criostail aonair agus a théamh i dtrealamh sil -leagain cheimiceach orgánach miotail (MOCVD). Tá ról cinntitheach ag cobhsaíocht theirmeach, aonfhoirmeacht teirmeach agus paraiméadair eile feidhmíochta de thráidire graifíte brataithe SIC i gcáilíocht an fháis ábhair eipiciúil, mar sin is é an príomhchuid lárnach de threalamh MOCVD é.

Is í an teicneolaíocht sil -leagain cheimiceach orgánach miotail (MOCVD) an teicneolaíocht phríomhshrutha faoi láthair le haghaidh fás eipiciúil ar scannáin tanaí gan tanaí i soilse solais gorm. Tá na buntáistí a bhaineann le hoibriú simplí, ráta fáis inrialaithe, agus íonacht ard scannán tanaí gan a bheith ag fás. Ní mór na buntáistí a bhaineann le friotaíocht ardteochta, seoltacht aonfhoirmeach teirmeach, cobhsaíocht mhaith cheimiceach, agus friotaíocht láidir teirmeach a bheith ag na tráidirí graifíte brataithe SIC a úsáidtear le haghaidh fás eipiciúil ar scannáin tanaí gan tanaí, mar chomhpháirt thábhachtach i seomra imoibriúcháin trealaimh MOCVD, agus friotaíocht láidir teirmeach. Is féidir le hábhair graifíte na coinníollacha thuas a chomhlíonadh.

Mar cheann de na croí -chomhpháirteanna i dtrealamh mocvd, anGraifít brataithe sicIs é tráidirí an t -iompróir agus an ghné téimh den tsubstráit fhoshraith, a chinneann go díreach aonfhoirmeacht agus íonacht an ábhair scannán tanaí. Dá bhrí sin, bíonn tionchar díreach ag a cháilíocht ar ullmhú sliseoga epitaxial. Ag an am céanna, leis an méadú ar líon na n -úsáidí agus na n -athruithe sna dálaí oibre, tá sé an -éasca a chaitheamh agus a chuimilt, agus tá sé inchaite.

Cé go bhfuil seoltacht agus cobhsaíocht theirmeach den scoth ag graifít, rud a fhágann gur buntáiste maith é mar bhunchuid de threalamh MOCVD, le linn an phróisis táirgthe, déanfar graifít a chreimeadh agus a phúdrú mar gheall ar an ngás creimneach iarmharach agus an t -ábhar orgánach miotail, a laghdóidh go mór saol seirbhíse an bhoinn graifíte. Ag an am céanna, cuirfidh an púdar graifíte tite truailliú ar an tslis.

Is féidir le teacht chun cinn na teicneolaíochta brataithe socrú púdair dromchla a sholáthar, seoltacht theirmeach a fheabhsú, agus dáileadh teasa a chothromú, agus is í an phríomhtheicneolaíocht í chun an fhadhb seo a réiteach. Úsáidtear an bonn graifít i dtimpeallacht trealaimh MOCVD, agus ba chóir go gcomhlíonfadh sciath dromchla an bhonn graifít na tréithe seo a leanas:

.

.

(3) Tá cobhsaíocht cheimiceach maith aige chun an sciath a sheachaint ó theip ar atmaisféar ardteochta agus creimneach.

Tá na buntáistí a bhaineann le friotaíocht creimthe, seoltacht ard teirmeach, friotaíocht turraing teirmeach, agus cobhsaíocht cheimiceach ard ag SIC, agus is féidir leis oibriú go maith in atmaisféar eipiciúil an GAN. Ina theannta sin, tá an chomhéifeacht leathnaithe teirmeach de SIC an -ghar do ghraifít, mar sin is é SIC an t -ábhar is fearr le haghaidh sciath dromchla an bhoinn ghraifít.

Faoi láthair, is cineál 3c, 4h agus 6h den chuid is mó atá sa SIC coiteann, agus tá úsáidí difriúla ag SIC de fhoirmeacha criostail éagsúla. Mar shampla, is féidir 4H-SIC a úsáid chun feistí ardchumhachta a mhonarú; Is é 6h-SiC an ceann is cobhsaí agus is féidir é a úsáid chun feistí optoelectronic a mhonarú; Is féidir 3C-SiC, mar gheall ar a struchtúr cosúil le Gan, a úsáid chun sraitheanna epitaxial Gan a tháirgeadh agus feistí RF SIC-SIC a mhonarú. Tagraítear do 3C-SIC freisin mar β-SIC. Tá úsáid thábhachtach β-SIC mar ábhar tanaí scannán agus sciath. Dá bhrí sin, is é β-SIC an príomhábhar le haghaidh sciath faoi láthair.