Chuck Vacuum Ceirmeach SiC

Agus iad ag déanamh a ndíchill do Dhlí Moore, tá ardáin choinneála sliseog ag teastáil ó shaoráidí déantúsaíochta leathsheoltóra ar féidir leo fórsaí meicniúla diana a sheasamh agus fanacht cothrom, gan aon chnagadh nó tumadh. Soláthraíonn Semicorex SiC Ceirmeach Vacuum Chuck an réiteach foirfe chun alúmana traidisiúnta agus chucks cruach dhosmálta a athsholáthar; cuirfidh siad an cóimheas righin le meáchain ar fáil agus ní imoibríonn siad go ceimiceach, agus tá an dá cheann riachtanach chun sliseog 300mm agus níos faide a phróiseáil.

1. Buntáistí ábhartha trí úsáid a bhaint as chomhdhúile sileacain dlúth sintéaraithe (SSiC).

An chomhpháirt lárnach dárSiC ceirmeachaTá Vacuum Chuck sinteredCairbíd Sileacain, ábhar atá sainmhínithe ag a nascadh comhfhiúsach an-láidir. Níl ár SSiC scagach ná imoibriú-nasctha; ina ionad sin, tá sé sintéaraithe ag > 2000 céim Celsius chun dlús teoiriciúil beagnach a bhaint amach (> 3.10 g/cm3) - go simplí, tá sé níos soladach ná ábhair eile a úsáidtear chun chucks bhfolús a mhonarú.

Neart Meicniúil Eisceachtúil.

Tá thart ar 420 GPa i Modal Young's de SSiC, rud a fhágann go bhfuil sé i bhfad níos déine ná alúmana (thart ar 380 GPa). Mar gheall ar an modulus ard elasticity seo, fanfaidh ár gcucks cobhsaí faoi choinníollacha uainíochta folúis agus ardluais araon agus ní bheidh siad deform; mar sin, ní dhéanfaidh na sliseoga "sliseanna prátaí" (i.e., dlúth) agus déanfaidh siad teagmháil aonfhoirmeach i gcónaí ar fud a n-achar dromchla iomlán.

Cobhsaíocht Theirmeach agus CTE Íseal

I bpróisis a bhaineann le solas UV ard-déine nó teas spreagtha cuimilte, is féidir earráidí forleagan a bheith mar thoradh ar leathnú teirmeach. Tá Comhéifeacht Leathnú Teirmeach íseal (CTE) de 4.0 x 10 ^{-6}/K ag ár gcucks SiC, mar aon le seoltacht teirmeach ard (> 120W/m·K). Ligeann an teaglaim seo don chuck teas a scaipeadh go tapa, ag cothabháil cobhsaíochta tríthoiseach le linn timthriallta fada liteagrafaíochta nó méadreolaíochta.

2. Innealtóireacht agus Dearadh Beachtais

Mar atá le feiceáil in íomhá an táirge, tá gréasán casta de chainéil fholús comhlárnacha agus gathacha ar ár gcucks bhfolús. Déantar iad seo a mheaisíniú le CNC le fíorchruinneas chun súchán aonfhoirmeach a chinntiú ar fud an wafer, ag íoslaghdú pointí struis logánta a d'fhéadfadh briseadh sliseog a bheith mar thoradh air.

Maolas Fo-mhiocrón: Bainimid úsáid as ard-theicnící meilt agus rádlaithe diamanta chun maoile domhanda <1μm a bhaint amach. Tá sé seo ríthábhachtach chun an doimhneacht fócasach a theastaíonn i nóid ardlitagrafaíochta a chothabháil.

Lightweighting (Roghnach): Chun freastal ar chéimeanna ard-luasghéarú i steppers agus scanóirí, cuirimid struchtúir "lightweighting" honeycomb inmheánach a laghdaíonn mais gan cur isteach ar rigidity struchtúrach.

Notches Ailínithe Imlíne: Ceadaíonn notches comhtháite comhtháthú gan uaim le héifeachtóirí deiridh róbatacha agus braiteoirí ailínithe laistigh den uirlis phróisis.

3. Iarratais Chriticiúil sa Slabhra Soláthair Leathsheoltóra

Is iad ár gcucks Fholúis Ceirmeacha SiC an caighdeán tionscail le haghaidh:

Tanú & Meilt Wafer (CMP): An tacaíocht docht atá riachtanach chun sliseog a thanaí síos go dtí an leibhéal miocrón a sholáthar gan scealladh imeall.

Litagrafaíocht (Stapadóirí/Scannairí): Feidhmiú mar an “chéim” ultra-árasán a chinntíonn fócas beacht léasair do nóid fo-7nm.

Méadreolaíocht & AOI: A chinntiú go bhfuil sliseoga breá réidh le haghaidh iniúchta ardtaifigh agus mapáil lochtanna.

Dicing Wafer: Súchán cobhsaí a sholáthar le linn oibríochtaí dísle meicniúla nó léasair ardluais.

Ag Semicorex, tuigimid nach bhfuil chuck bhfolús ach chomh maith lena sláine dromchla. Téann gach chuck faoi phróiseas rialaithe cáilíochta ilchéime:

Trasmhéadracht Léasair: Chun maoile trasna an trastomhais iomlán a fhíorú.

Tástáil Sceitheadh ​​Héiliam: A chinntiú go bhfuil na bealaí folúis séalaithe go foirfe agus éifeachtach.

Glanadh Seomra Glan: Próiseáilte i dtimpeallachtaí Aicme 100 chun éilliú miotail náid orgánach a chinntiú.

Oibríonn ár bhfoireann innealtóireachta go dlúth le monaróirí uirlisí OEM chun patrúin sliotán, toisí agus comhéadain gléasta a shaincheapadh. Trí Semicorex a roghnú, tá tú ag infheistiú i gcomhpháirt a laghdaíonn aga neamhfhónaimh, a fheabhsaíonn cruinneas forleagan, agus a íslíonn do chostas iomlán úinéireachta trí fhíormharthanacht.