Soláthraíonn báid cheirmeacha Semicorex SIC an meascán is fearr de íonacht, de neart, de fhriotaíocht theirmeach, agus de chruinneas tríthoiseach a theastaíonn le haghaidh éilimh dhiana phróiseála sliseog leathsheoltóra nua -aimseartha. -
Is iompróirí úrscothacha iad báid cheirmeacha Semicorex Sic atá deartha go speisialta chun sliseoga leathsheoltóra a iompar, a stóráil agus a phróiseáil go sábháilte sna timpeallachtaí is déine agus is teirmeacha. Ghlac an tionscal leathsheoltóra go tapa le caighdeáin nua feidhmíochta a bhfuil gá acu le báid cheirmeacha SIC chun na héilimh éadulaingt agus chriticiúla a bhaint amach go hiontaofa, go muiníneach, agus saor ó éilliú.
Cobhsaíocht agus neart teirmeach láidir
Is é an tréith shainithe de bháid cheirmeacha Sic a chobhsaíocht theirmeach an -ard. Is féidir le báid cheirmeacha SIC teocht níos mó ná 1600 ° C a fhulaingt gan a gcruth nó a struchtúr a chailliúint le linn próisis rothaíochta teirmeacha ionsaitheach. Mar gheall ar an gcomhéifeacht leathnaithe teirmeach ultra-íseal, is lú an seans go ndéanfaidh báid cheirmeacha Sic saobhadh agus scoilteadh, rud a cheadaíonn lamháltais dhiana agus sábháilteacht foriomlán sliseog le linn láimhseáil faoi choinníollacha righin.
Íonacht ard agus friotaíocht cheimiceach
Tá báid cheirmeacha SIC déanta as cairbíd sileacain íonachta ard-ard. Tá báid cheirmeacha SIC an -fhrithsheasmhach in aghaidh díghrádú ceimiceach, creimneach, agus plasma a ídiú. Ciallaíonn nádúr na mbád ceirmeach SiC próisis de ghás creimneach, timpeallachtaí imoibríocha, ní bheadh aon éilliú ón mbád ná aon rud intuaslagtha chun dochar a dhéanamh don phróiseas oibre. Cuireann dromchla neamh-éillitheach na mbád ceirmeach SiC ar chumas aon ghiniúint cháithníní ná láisteadh ian dá bhrí sin ní chuirtear dromchla sliseog i gcontúirt ag eisíontais a chuireann bac ar fheidhmíocht nó ar tháirge feiste.
Innealtóireacht bheachtais le haghaidh láimhseála sliseog sábháilte agus slán
Déantar báid cheirmeacha SIC laistigh de lamháltais dhiana, rud a ligeann dóibh sliseoga de thrastomhais éagsúla a láimhseáil, lena n -áirítear 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm, agus níos mó. Soláthraíonn dearadh struchtúrach na mbád SIC cothromaíocht den scoth, comhthreomhaireacht, agus méid aonfhoirmeach chun treoshuíomh lapála sliseog cuí a choinneáil agus imill an tsliocht a chosaint agus tú ag aistriú chuig próiseas nó uirlis eile. Is féidir gach bád SIC a dhearadh le toisí saincheaptha chun an tacar uirlisí a mheaitseáil nó aon sonraíochtaí uathoibrithe a chomhlíonadh.
Saolré fada agus níos éifeachtaí ó thaobh costais de
Tagann SIC in áit ábhair thraidisiúnta (Grianchloch, alúmana) le neart meicniúil, déine briste agus friotaíocht turraing teirmeach atá feabhsaithe go mór. Is ionann an leibhéal marthanachta seo agus saolré níos faide roimh "teip," i bhfad níos lú athsholáthar le linn oibriú, agus costas iomlán úinéireachta níos ísle. Laghdóidh an chomhsheasmhacht i bhfeidhmíocht ó mharthanacht SIC amanna síos agus luas a chur le tréchur ar línte déantúsaíochta leathsheoltóra.
Feidhmchláir oscailte i bpróisis leathsheoltóra
Úsáidtear báid cheirmeacha SIC go forleathan i bpróisis leathsheoltóra tosaigh mar:
LPCVD agus PECVD sil -leagan
Ocsaídiú teirmeach
Ionchlannú ian
Anáil agus idirleathadh
Glanadh sliseog agus próiseáil cheimiceach
Tá feidhmchláir phróiseála comhoiriúnacha ag Láimhseálann Ceirmeacha SIC in atmaisféar agus i ndlísheomraí próisis folúis, rud a fhágann gur rogha iontach é do theilgcheártaí agus fabs atá ag iarraidh an baol éillithe a íoslaghdú agus a laghdú agus táirgiúlacht a fheabhsú.