Leathsheoltóra Wafer Chuck

Tógtar Comhpháirteanna Brataithe Carbíde Sileacain ard-íonachta Semicorex chun na timpeallachtaí foircneacha sa phróiseas láimhseála sliseog a sheasamh. Tá buntáiste praghais maith ag ár Leathsheoltóir Wafer Chuck agus clúdaíonn sé go leor de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

Leathsheoltóra ultra-árasán Semicorex Tá Wafer Chuck brataithe SiC ardíonachta le húsáid sa phróiseas láimhseála sliseog. Leathsheoltóra Wafer Chuck le trealamh MOCVD Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh ag fás cumaisc, a bhfuil cobhsaíocht mhór aige i dtimpeallacht mhór, agus feabhas a chur ar bhainistíocht toraidh le haghaidh próiseála leathsheoltóra wafer. Laghdaíonn cumraíochtaí íseal-teagmhála an baol cáithníní cúil le haghaidh feidhmeanna íogaire.

Paraiméadair Leathsheoltóra Wafer Chuck

Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC
Airíonna SiC-CVD
Struchtúr Criostail	FCC β céim
Dlús	g/cm³	3.21
Cruas	Vickers cruas	2500
Méid Grán	μm	2~10
Íonacht Cheimiceach	%	99.99995
Cumas Teasa	J kg- 1 K-1	640
Teocht sublimation	℃	2700
Neart Felexural	MPa (RT 4 phointe)	415
Modal Óg	Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃)	430
Leathnú Teirmeach (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Seoltacht theirmeach	(W/mK)	300