Chucks Fholúis SiC scagach

Semicorex scagach SiCchucks bhfolúsIs iad na comhpháirteanna fíor-riachtanach, atá in ann a úsáid go forleathan sna próisis déantúsaíochta chun cinn leathsheoltóra, mar shampla tanú wafer, dicing, meilt, snasú, photolithography, eitseáil. Tógtar a n-ardán asaithe le pláta ceirmeach SiC póiriúil le go leor pores scála miocrón atá scaipthe go cothrom. Le trastomhas pore comhsheasmhach agus ráta tréphoill eisceachtúil, soláthraíonn scagairí folúis SiC scagach Semicorex cosán réidh gáis le haghaidh aslonnú bhfolús. Le linn na hoibríochta, gintear an brú diúltach cobhsaí agus aonfhoirmeach idir an chuck agus an wafer, rud a cheadaíonn clampáil ard-éifeachtach i bhfolús agus scaoileadh sliseog leathsheoltóra.

Buntáistí a bhaineann le súnna folúis SiC scagach Semicorex 

1. Cruinneas próiseála eisceachtúil

Tá sliseoga leathsheoltóra a phróiseáiltear i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ardleibhéil thar a bheith tanaí, agus mar sin d’fhéadfadh fiú lúbadh beag, tonnchrith nó strus áitiúil míchothrom a bheith ina chúis le briseadh sliseog, warping, agus cruinneas laghdaithe i bpróisis ríthábhachtacha amhail liteagrafaíocht. leathchorexSiC póiriúilPróiseáiltear chucks bhfolús trí mheilt agus snasta ardchruinneas, ag baint amach garbh dromchla foirfe Ra ＜ 0.1 μm. Cuireann sé seo ar chumas chucks bhfolús SiC porous Semicorex dromchla oibriúcháin optamaithe a sholáthar do mhonarú leathsheoltóra ardchruinneas.

2. Ard glaineachta agus friotaíocht ard creimeadh

Chun na caighdeáin dhian glaineachta leathsheoltóra a chomhlíonadh, déanann Semicorex folúsóga scagach SiC le hamhábhair chomhdhúile sileacain ard-íonachta trí shintéiriú ardteochta. Cinntíonn sé seo go bhfuil na chucks saor ó shedding cáithníní agus éilliú miotalach inimircigh. Ag baint leasa as cobhsaíocht cheimiceach den scoth SiC, tá scagairí folúis SiC scagach Semicorex in ann na timpeallachtaí crua creimthe a sheasamh agus gan aon seachtháirgí breise a ghiniúint, rud a fhágann go bhfuil siad thar a bheith oiriúnach do phróisis déantúsaíochta ard-ghrád glan leathsheoltóra.

3. Marthanacht den scoth agus cobhsaíocht fhadtéarmach

Ní mór do chucks folúis a úsáidtear i línte táirgeachta na mílte timthriallta asaithe agus scaoilte a sheasamh, chomh maith le luaineachtaí teochta fadtéarmacha. Cuireann sé seo ceanglais an-ard ar fheidhmíocht ábhar chucks bhfolús. Tá cruas ábhair den scoth agus friotaíocht caitheamh ag baint le chucks bhfolús scagach Semicorex SiC, le leathnú teirmeach cobhsaí. Ní léiríonn siad aon creep nó díghrádú feidhmíochta ag coinníollacha ardteochta, rud a leathnaíonn go mór a saol seirbhíse agus a laghdaíonn cothabháil comhpháirteanna agus minicíocht athsholáthair.