Is comhpháirt an-dul chun cinn agus innealtóireacht mheicniúil é an MOCVD Heater le Semicorex a thairgeann an iliomad buntáistí, lena n-áirítear íonacht cheimiceach eisceachtúil, éifeachtúlacht teirmeach, seoltacht leictreach, emissivity ard, friotaíocht creimeadh, inoxidizability, agus neart meicniúil.**
Déantar an téitheoir seo a thógáil ag baint úsáide as graifít ard-íonachta, le leibhéil eisíontais rialaithe go cúramach go dtí níos lú ná 5 chuid in aghaidh an mhilliúin (ppm). Tá an graifít brataithe ansin le cairbíd sileacain taiscí ceimiceacha gaile (CVD) (SiC), ag a bhfuil leibhéal íonachta níos mó ná 99.99995%. De bharr an teaglaim ábhar seo tá sraith uathúil airíonna ag an téitheoir atá fíor-riachtanach chun an fheidhmíocht is fearr a bhaint amach i bpróisis sil-leagan ceimiceach miotail-orgánach (MOCVD).
Ceann de na gnéithe is suntasaí den Téitheoir MOCVD Semicorex ná a íonacht cheimiceach eisceachtúil. Laghdaíonn an croí graifít ard-íonachta go mór tabhairt isteach ábhar salaithe le linn próisis ardteochta, rud a chinntíonn taisceadh scannáin tanaí ultra-ghlan. Feabhsaítear an íonacht seo le sciath CVD SiC, rud a chuireann bac láidir ar idirghníomhaíochtaí ceimiceacha a d'fhéadfadh sláine na gciseal atá curtha i mbaol a chur i mbaol. Tá an leibhéal ard íonachta ceimiceach seo ríthábhachtach chun feistí leathsheoltóra a tháirgeadh a bhfuil feidhmíocht agus iontaofacht níos fearr acu.
Ina theannta sin, tá an téitheoir an-láidir agus éifeachtach go teirmeach, in ann na coinníollacha teirmeacha foircneacha is gnách do phróisis MOCVD a sheasamh. Cuireann airíonna dúchasacha SiC, amhail a leáphointe ard agus seoltacht theirmeach, le cumas an téitheoir teas a bhainistiú agus a dháileadh go héifeachtach. Cinntíonn an éifeachtacht theirmeach seo téamh aonfhoirmeach ar fud an tsubstráit, rud atá riachtanach chun taisceadh scannáin aonchineálach a bhaint amach agus grádáin teirmeacha a d'fhéadfadh lochtanna a bheith mar thoradh air a íoslaghdú.
Is réimse eile é seoltacht leictreach ina bhfuil an Téitheoir MOCVD Semicorex ar fheabhas. Soláthraíonn an croí grafite ard-íonachta seoltacht leictreach den scoth, rud a ligeann don téitheoir ualaí leictreacha ard a láimhseáil gan stró. Tá an cumas seo thar a bheith tábhachtach i bpróisis MOCVD a éilíonn rialú beacht ar rátaí teochta agus sil-leagan. Cinntíonn cumas an téitheoir feidhmíocht leictreach cobhsaí a chothabháil faoi ualaí arda coinníollacha próisis comhsheasmhacha agus in-atáirgthe, atá ríthábhachtach do mhonarú leathsheoltóra ard-táirgeachta.
Tá dromchla cothrom an téitheoir deartha go cúramach chun emissivity níos airde a sholáthar i dtreo an tsubstráit, ag cur le héifeachtúlacht aistrithe teasa radaigh. Cinntíonn an ghné dearaidh seo go bhfaigheann an tsubstráit téamh aonfhoirmeach, rud atá ríthábhachtach chun scannáin tanaí ardchaighdeáin a bhaint amach le tiús agus airíonna comhsheasmhacha. Cuireann an dromchla emissivity ard freisin le héifeachtúlacht theirmeach foriomlán an téitheoir, ag laghdú tomhaltas fuinnimh agus costais oibriúcháin.
I dtéarmaí marthanachta, cuireann an Téitheoir Semicorex MOCVD friotaíocht creimeadh eisceachtúil, inoxidizability, agus neart meicniúil ard. Soláthraíonn an sciath CVD SiC ciseal cosanta láidir a chuireann in aghaidh gáis chreimneach agus ceimiceáin a bhíonn coitianta i bpróisis MOCVD. Leathnaíonn an friotaíocht creimeadh seo saolré oibriúcháin an téitheoir, ag laghdú costais chothabhála agus athsholáthair. Cinntíonn inocsaíditheacht an téitheoir go bhfanann sé cobhsaí agus nach ndéanann sé díghrádú fiú ag teochtaí arda, ag caomhnú a fheidhmíochta agus a sláine struchtúrach thar thréimhsí oibriúcháin fada.
Mar fhocal scoir, cinntíonn neart meicniúil ard an téitheoir gur féidir leis na strusanna fisiceacha a bhaineann le rothaíocht theirmeach agus láimhseáil foshraitheanna a sheasamh. Laghdaíonn an stóinseacht seo an baol teip meicniúil, ag cinntiú oibriú iontaofa agus leanúnach.