Foirnéis sheomra chothrománach báid sic

Is cuid an-innealtóireachta iad na báid Foirnéise Horizontal Horizontal Sic Sic a choinníonn agus a iompraíonn sliseoga nó foshraitheanna agus iad faoi réir próiseála teirmeach ardteochta i bhfoirnéis sheomra chothrománach. Tá an bád sliseog déanta as SIC ard-íonachta Silicon Carbide (SIC), a sholáthraíonn an teaglaim uathúil de neart, cobhsaíocht theirmeach, agus friotaíocht cheimiceach ard a éilítear i bpróisis leathsheoltóra, fhótavoltacha agus ardcheirmeacha. Feidhmíonn an bád wafer freisin mar struchtúr dochta chun sliseoga a choinneáil in áit, ní chaillfear an chobhsaíocht thoiseach agus cruinneas na sliseoga trí nochtadh leathnaithe do theochtaí an phróisis mhór.

Soláthraíonn na hairíonna is fearr a bhaineann le cairbíd sileacain buntáiste feidhmíochta níos fearr i gcomparáid le hábhair tipiciúla le haghaidh báid shliocht ar nós Grianchloch nó alúmana. Is féidir leo timthriallta teasa agus fuaraithe gearrthéarmacha a sheasamh níos fearr mar gheall ar a leáphointe ard, a bhfriotaíocht turraing teirmeach, agus a neart meicniúil, beag beann ar luas teasa agus fuaraithe nó foircinn an timthrialla theirmigh. Ós rud é go mbraitheann foirnéis chothrománach go hiomlán ar chomhsheasmhacht shuíomhanna na sliseoga agus ar nochtadh coinníollacha próisis, forálann ailíniú cuí sliseoga le haghaidh toradh comhsheasmhach próisis agus in -atrialltacht. Ciallaíonn comhéifeacht íseal leathnú teirmeach nach ndéanfaidh an bád saobhadh ar a shaol agus go soláthraíonn sé cruth agus spásáil coinnithe na sliseoga.

Soláthraíonn an struchtúr mín, dlúth de SIC athchriostalaithe friotaíocht shuntasach i gcoinne ocsaídiúcháin, creimthe, agus éillithe ag gáis agus fotháirgí próisis. Fágann sé seo go bhfuil an bád thar a bheith tairbheach do phróisis in atmaisféir ionsaitheach amhail idirleathadh, ocsaídiú, LPCVD, agus anáil. Seachnaíonn an táimhe cheimiceach ard de SIC frithghníomhartha leis na dromchlaí sliseog, rud a chaomhnaíonn íonacht an táirge agus a íoslaghdaíonn giniúint cháithníneach sa fhoirnéis. Is féidir le báid SIC cabhrú le monaróirí ar gá dóibh éilimh ghlaineachta déine a chomhlíonadh, timpeallachtaí próiseála níos glaine a sholáthar agus caighdeán feabhsaithe wafer.

Is féidir na báid seo a tháirgeadh le geoiméadraí casta éagsúla agus le toisí páirteacha a bhaineann go sonrach le meaisínithe beachtais agus le teicnící foirmithe. Is iondúil go n -úsáideann na dearaí sliotáin/grooves comhthreomhara iolracha chun na sliseoga a choinneáil go daingean i dtreoshuíomh cothrománach agus nochtann siad go haonfhoirmeach an dromchla sliseog iomlán go dálaí teirmeacha. Is féidir spásáil agus uillinneacha sliotán-go-sliotán a bharrfheabhsú freisin chun sliseoga trastomhais eile a oiriúnú, amhail 150 mm, 200 mm, nó 300 mm, agus aer-sreabhadh díreach le linn éifeachtaí próiseála agus aonfhoirmeacht teochta á bhaint amach fós le haghaidh próiseála.

Ní hamháin gur féidir na báid SIC Foirnéise Seomra Cothrománach a dhearadh i n-imeacht caighdeánach, ach is féidir iad a dhearadh chun oibriú le lucht uathoibrithe uathoibrithe, agus mar thoradh air sin tá comhtháthú gan uaim i línte táirgthe ard-tréchuir nua-aimseartha. Fágfaidh an dearadh láidir freisin go mbeidh na báid níos lú seans ann go ndéanfaidh siad sliseanna nó briseadh le linn láimhseála agus go laghdóidh siad an t -am agus na costais le haghaidh athsholáthair.

Seoltacht theirmeach naSileacan CairbídIs buntáiste tábhachtach eile é a éascaíonn aistriú teasa éifeachtach idir na sliseoga agus an timpeallacht foirnéise. Is é an buntáiste atá ann ná go bhfuil monaróirí in ann coinníollacha próiseála níos aonfhoirmeacha a bhaint amach agus amanna rothaíochta a ghiorrú, ar féidir leo éifeachtúlacht táirgthe a mhéadú. Soláthraíonn na báid SIC torthaí comhsheasmhacha agus in -athdhéanta cibé acu a úsáidtear iad le haghaidh monarú sliseog leathsheoltóra, déantúsaíocht cille gréine, nó próiseáil ardábhair eile ag teochtaí ardaithe.

Go hachomair, tá na báid SIC foirnéise seomra cothrománach mar phríomhghné do mhonaróirí atá ag iarraidh sliseoga a tháirgeadh le hiompróirí sliseog ardfheidhmíochta, fadtréimhseach agus frithsheasmhach in aghaidh éillithe. Tá neart meicniúil, cobhsaíocht theirmeach agus táimhe cheimiceach ann atá neamhchothrom in iarratais fhoirne chothrománacha. Trí bhád cairbíde sileacain a roghnú, is féidir le hoibreoirí rialú próisis níos fearr, torthaí níos airde a ghiaráil, agus cur isteach oibríochtúil a íoslaghdú mar gheall ar chothabháil. Tríd is tríd forálann sé do léiriúcháin níos éifeachtaí, éifeachtúla costais.