Bád SiC 6 orlach

Is iompróir wafer chun cinn é Semicorex 6 Inch SiC Boat atá deartha chun feidhmíocht agus éifeachtúlacht próiseála leathsheoltóra ardteochta a bharrfheabhsú, go sonrach le haghaidh iarratais ar nós ocsaídiúcháin, idirleata, agus próisis teirmeacha eile. Déanta as chomhdhúile sileacain ardchaighdeáin (SiC), cuireann an táirge seo réiteach láidir ar fáil chun sliseoga leathsheoltóra a shealbhú le linn oibríochtaí ríthábhachtacha ardteochta, ag soláthar cobhsaíocht theirmeach níos fearr, friotaíocht creimeadh den scoth, agus rioscaí íosta éilliúcháin.

Déantar an Bád 6 Inch SiC a mhonarú ag baint úsáide as cairbíd sileacain ard-íonachta (SiC), ábhar a bhfuil cáil air as a chuid airíonna teirmeacha den scoth, friotaíocht ceimiceach agus marthanacht i dtimpeallachtaí crua. Úsáidtear SiC go forleathan i ndéantúsaíocht leathsheoltóra mar gheall ar a leáphointe ard (thart ar 2,700 ° C), rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir ardteochta, mar shampla próiseáil wafer i bhfoirnéisí ocsaídiúcháin agus idirleata. Cinntíonn dearadh an bháid sláine struchtúrach den scoth agus dáileadh teasa aonfhoirmeach, atá ríthábhachtach chun torthaí comhsheasmhacha a bhaint amach i bhfás criostail leathsheoltóra, ocsaídiú, agus cóireálacha teirmeacha eile.

Príomhghnéithe agus Buntáistí

Cobhsaíocht Teirmeach Ard

Cinntíonn seoltacht theirmeach eisceachtúil SiC gur féidir leis an mBád SiC 6 Orlach teochtaí foircneacha a sheasamh gan warping nó táireach. Tá an mhaoin seo luachmhar go háirithe le linn próisis ocsaídiúcháin agus idirleata, áit a bhfuil rialú beacht teochta riachtanach le haghaidh próiseála comhsheasmhach wafer.

Friotaíocht Cheimiceach den scoth

Mar gheall ar fhriotaíocht dhúchasach chomhdhúile sileacain do chreimeadh ceimiceach tá an bád oiriúnach le húsáid i dtimpeallachtaí ina bhfuil nochtadh do gháis ionsaitheach, mar shampla ocsaigine, nítrigine, nó eilimintí imoibríocha eile, coitianta. Coinníonn an bád a sláine struchtúrach agus a fheidhmíocht i dtimpeallachtaí ardteochta, imoibríocha ceimiceacha, rud a laghdaíonn an dóchúlacht go dtarlóidh éilliúchán.

Marthanacht Ard-Teocht

Déantar an Bád SiC 6 Inch a innealtóireacht chun feidhmiú ag teochtaí suas le 1,500 ° C, ceanglas do go leor próiseas leathsheoltóra ardteochta, lena n-áirítear ocsaídiú agus idirleathadh. Cinntíonn an lamháltas ardteochta seo saol seirbhíse fada fiú in iarratais éilitheacha.

Riosca Éillithe Íseal

Ceann de na fachtóirí ríthábhachtacha i bpróiseáil leathsheoltóra ná éilliú an dromchla wafer a íoslaghdú. Cinntíonn leibhéil ísle eisíontais SiC agus nádúr neamh-imoibríoch go gcuireann an Bád SiC 6 Orlach le timpeallacht ghlan agus rialaithe, rud a laghdóidh an baol éillithe nach dteastaíonn le linn próiseála.

Tacaíocht Éide Wafer

Cinntíonn dearadh an bháid go dtacaítear go cothrom leis na sliseog, ag cothabháil ailíniú barrmhaith sliseog agus ag cosc ​​ar aon sagging nó mí-ailíniú le linn próiseála ardteochta. Tá an tacaíocht aonfhoirmeach seo riachtanach chun torthaí comhsheasmhacha a chinntiú agus chun lochtanna sliseog a chosc.

Roghanna Saincheaptha

Is féidir an Bád SiC 6 Inch a shaincheapadh chun freastal ar riachtanais shonracha an chustaiméara, lena n-áirítear méideanna, cruthanna agus cumraíochtaí oiriúnaithe do chineálacha éagsúla wafer. Cibé an úsáidtear é le haghaidh ocsaídiúcháin, idirleata, nó próisis teirmeacha eile, is féidir an bád a bharrfheabhsú le haghaidh sreabhadh próisis áirithe an chustaiméara.

Feidhmchláir i Déantúsaíocht Leathsheoltóra

Úsáidtear Bád SiC 6 Inch go príomha i bpróisis teirmeacha ardteochta i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá sé éifeachtach go háirithe i bhfoirnéisí ocsaídiúcháin agus idirleata, áit a bhfuil gá le rialú beacht ar theocht agus ar atmaisféar le haghaidh próiseáil rathúil wafer.

• Próiseas Ocsaídiú: Le linn an phróisis ocsaídiúcháin, nochtar sliseoga sileacain d'ocsaigin ag teochtaí ardaithe chun ciseal tanaí dé-ocsaíd sileacain a fhoirmiú ar an dromchla wafer. Cinntíonn an Bád SiC 6 Inch go gcoimeádtar na sliseoga go slán agus go cothrom le linn an phróisis ardteochta seo, rud a choscann dífhoirmiú nó mí-ailíniú agus a chinntíonn fás ciseal ocsaíd aonfhoirmeach.
• Próiseas Idirleata: Sa phróiseas idirleata, tugtar dopants isteach sa wafer sileacain chun a n-airíonna leictreacha a mhodhnú. Soláthraíonn Bád SiC tacaíocht chobhsaí agus iontaofa do na sliseog le linn na céime ríthábhachtach seo, áit a bhfuil ardteocht agus rialú beacht ar an timpeallacht idirleata ríthábhachtach. Cinntíonn a chobhsaíocht theirmeach den scoth téamh aonfhoirmeach, rud atá ríthábhachtach chun an phróifíl dopant atá ag teastáil a bhaint amach.
• Feidhmchláir Ardteochta Eile: Seachas ocsaídiú agus idirleathadh, is féidir an Bád SiC 6 Inch a úsáid i bpróisis ardteochta eile, mar shampla annealing, nítridation, agus fás epitaxial. Mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus a fhriotaíocht ar thurraing theirmeach, is réiteach ildánach é do chéimeanna éagsúla de dhéantús an fheiste leathsheoltóra.

Buntáistí Thar Ábhair Eile

I gcomparáid le hábhair thraidisiúnta cosúil le Grianchloch nó graifít, cuireann chomhdhúile sileacain buntáistí suntasacha i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá báid Grianchloch níos so-ghabhálaí i leith turraingí teirmeacha agus imoibrithe ceimiceacha, agus is féidir le báid graifíte éirí as agus éilliú a thabhairt isteach. Ar an láimh eile, coinníonn báid SiC a bhfeidhmíocht i dtimpeallachtaí crua gan rioscaí éillithe, éagobhsaíocht theirmeach nó díghrádaithe. Déanann sé seo an Bád SiC 6 Inch mar rogha níos iontaofa agus níos éifeachtaí le haghaidh próiseála leathsheoltóra ardteochta.

Is comhpháirt ríthábhachtach é Bád Semicorex 6 Inch SiC sa tionscal leathsheoltóra, ag soláthar na cobhsaíochta riachtanacha, an fhriotaíocht cheimiceach, agus an fheidhmíocht theirmeach atá ag teastáil le haghaidh ardphróiseála wafer. Mar gheall ar a seoltacht teirmeach ard, a fhriotaíocht ar chreimeadh ceimiceach, agus ar an riosca éillithe íosta is é an rogha iontach é le haghaidh ocsaídiúcháin, idirleata agus próisis leathsheoltóra ardteochta eile. Cibé an úsáidtear é i dtaighde agus i bhforbairt nó i dtáirgeadh ar scála mór, seachadann Bád SiC 6 Inch an fheidhmíocht agus an iontaofacht is gá chun na torthaí is airde cáilíochta a chinntiú i ndéantúsaíocht leathsheoltóra.