Cruthaítear graifít sciath TaC trí dhromchla substráit graifíte ard-íonachta a bhratú le sraith mhín de chomhdhúile tantalam trí phróiseas dílsithe um Cheimiceach Taiscí Gaile (CVD).
Is comhdhúil é tantalam carbide (TaC) atá comhdhéanta de tantalam agus carbóin. Tá seoltacht leictreach miotalach aige agus leáphointe thar a bheith ard, rud a fhágann gur ábhar ceirmeach teasfhulangach é a bhfuil cáil air as a neart, a chruas, agus a fhriotaíocht teasa agus chaitheamh. Tá buaicphointe leáphointe Tantalum Carbides thart ar 3880 ° C ag brath ar íonacht agus tá ceann de na pointí leá is airde i measc na gcomhdhénártha aige. Déanann sé seo rogha tarraingteach eile nuair a sháraíonn éilimh teochta níos airde na cumais feidhmíochta a úsáidtear i bpróisis epitaxial leathsheoltóirí cumaisc mar MOCVD agus LPE.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex TaC
Tionscadail |
Paraiméadair |
Dlús |
14.3 (gm/cm³) |
Astaíocht |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Cruas (HK) |
2000 |
Friotaíocht (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Cobhsaíocht Teirmeach |
<2500 ℃ |
Athrú Toise Graphite |
-10~-20um (luach tagartha) |
Tiús Cumhdach |
≥20um luach tipiciúil (35um ± 10um) |
|
|
Is gnáthluachanna iad seo thuas |
|
Is comhpháirt ríthábhachtach é Susceptor Wafer Brataithe Semicorex TaC a úsáidtear i bhfoirnéisí um Thaisceadh Gal Cheimiceach Miotail-Orgánach (MOCVD) le haghaidh próiseála epitaxial leathsheoltóra (epi). Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs réiteach ceannródaíoch é Semicorex TaC Tantalum Carbide Bratated Plate atá deartha chun freastal ar éilimh dhian déantúsaíochta leathsheoltóra, go háirithe i gcéim phróiseála epitaxial (epi). Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánFáinne Treorach Brataithe Semicorex TaC, buaicphointe nuálaíochta i bhfoirnéisí fáis criostail aonair SiC (Carbide Sileacain). Deartha go cúramach chun freastal ar éilimh dhian an tionscail leathsheoltóra, geallann an fáinne treorach seo do phróisis fáis criostail a ath-shainmhíniú le cruinneas agus iontaofacht gan sárú.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSusceptor Grafite TaC Brataithe TaC ceannródaíoch Semicorex, comhpháirt réabhlóideach atá deartha chun do phróiseas epitaxial wafer a ardú chuig airde nua éifeachtúlachta agus beachtas. Le saineolas gan sárú agus úsáid á baint as teicneolaíocht úrscothach, déantar innealtóireacht ar Susceptor Graifít Brataithe Semicorex TaC chun freastal ar éilimh dhian na déantúsaíochta leathsheoltóra.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSoláthraíonn Semicorex Páirteanna Graphite Brataithe Carbide Tantalum ardchaighdeáin le seirbhís shaincheaptha. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSoláthraíonn Semicorex Susceptor Graphite Brataithe Carbide Tantalum le seirbhís shaincheaptha. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán