Seasann Susceptor Cumhdach Semicorex TaC buaicphointe san innealtóireacht ábhair, atá déanta go cúramach as graifít ardcháilíochta agus daingnithe le sciath chomhdhúile tantalam. Arna n-innealtóireacht go príomha le haghaidh fostaíochta laistigh d'fhás criostail SiC agus próisis epitaxial SiC, seasann an chomhpháirt nuálaíoch seo mar chomhartha marthanachta agus feidhmíochta i dtimpeallachtaí teirmeacha agus ceimiceacha foircneacha. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Seasann an Cumhdach Cumhdach TaC (Tantalum Carbide) agus buaicphointe san innealtóireacht ábhair, atá déanta go cúramach as graifít ardcháilíochta agus daingnithe le sciath chomhdhúile tantalam. Arna n-innealtóireacht go príomha le haghaidh fostaíochta laistigh d'fhás criostail SiC agus próisis epitaxial SiC, seasann an chomhpháirt nuálaíoch seo mar chomhartha marthanachta agus feidhmíochta i dtimpeallachtaí teirmeacha agus ceimiceacha foircneacha.
Freastalaíonn an sciath TaC chun críocha ilghnéitheacha, ag leathnú saolré oibríochta na gcomhpháirteanna graifíte agus ag caomhnú go cúramach ar stoichiometry imoibrithe agus ag maolú imirce eisíontas le linn fás criostail agus próisis epitaxial. Trí chosaint i gcoinne cur isteach eisíontas i sraitheanna epitaxial agus foirmíochtaí criostail, cuireann Susceptor Coating TaC feabhas ar rátaí toraidh agus torthaí cáilíochta i gcónaí.
Tá sé deartha chun na teochtaí blistering a bhaineann leis na próisis seo a sheasamh, agus tá cobhsaíocht theirmeach eisceachtúil ag an Susceptor Coating TaC, agus é fós seasmhach fiú i dtimpeallachtaí os cionn 2200 ° C. Cinntíonn an athléimneacht gan sárú seo feidhmiúlacht gan uaim i bhfianaise an teas mhór, rud a chumasaíonn oibriú leanúnach gan comhréiteach.
Fágann tógáil láidir Susceptor Cumhdach TaC go bhfuil sé neamh-thréscaoilteach d’éifeachtaí creimneach hidrigine (H2), amóinia (NH3), silane (SiH4), agus sileacain (Si), rud a chuireann bac cosanta ar dhéine timpeallachtaí ceimiceacha crua. Déanann an tréith seo sócmhainn fíor-riachtanach in iarratais a éilíonn comhoiriúnacht cheimiceach dhian, ag cinntiú sláine oibríochta faoi na coinníollacha is déine.
Ina theannta sin, tá íonacht shárchéimneach ag baint leis an Susceptor Cumhdach TaC, arna innealtóireacht go cúramach chun neamhíonachtaí nó éillithe seachtracha a dhíchur a d’fhéadfadh sláine próisis a chur i mbaol. Ráthaíonn a chomhdhéanamh ultra-ard íonachta an glaineacht agus an iontaofacht is fearr, ag cur béime ar a ról fíor-riachtanach maidir le cáilíocht táirgí agus barrfheabhsú toraidh a chinntiú.