Fáinne Treorach Cumhdach TaC

Feidhm anFáinne Treorach Cumhdach TaC:

Rialú Sreabhadh Gáis Beacht:Tá an Fáinne Treorach Cumhdach TaC suite go straitéiseach laistigh de chóras insteallta gáis an imoibreora MOCVD. is í an phríomhfheidhm atá aige ná sreabhadh na ngás réamhtheachtaithe a stiúradh agus a ndáileadh aonfhoirmeach trasna dhromchla an tsubstráit a chinntiú. Tá an rialú beacht seo ar dhinimic sreafa gáis riachtanach chun fás ciseal epitaxial aonfhoirmeach agus airíonna ábhar atá ag teastáil a bhaint amach.

Bainistíocht Teirmeach:Is minic a oibríonn an Fáinne Treorach Coating TaC ag teochtaí ardaithe mar gheall ar a ghaireacht don susceptor téite agus an tsubstráit. Cuidíonn seoltacht theirmeach den scoth TaC le teas a scaipeadh go héifeachtach, cosc ​​a chur ar róthéamh áitiúil agus próifíl teocht chobhsaí a chothabháil laistigh den chrios imoibrithe.

Buntáistí TaC i MOCVD:

Friotaíocht Teocht Foircní:Tá ceann de na leáphointí is airde i measc na n-ábhar go léir ag TaC, níos airde ná 3800 ° C. 

Inertness Cheimiceach den Scoth:Léiríonn TaC friotaíocht eisceachtúil in aghaidh creimthe agus ionsaí ceimiceacha ó na gáis réamhtheachtaithe imoibríocha a úsáidtear i MOCVD, amhail amóinia, silane, agus comhdhúile miotail-orgánacha éagsúla.

Comparáid Friotaíocht ar Chreimeadh idir TaC agus SiC

Leathnú Teirmeach Íseal:Laghdaíonn comhéifeacht íseal leathnaithe teirmeach TaC athruithe tríthoiseach de bharr luaineachtaí teochta le linn phróiseas MOCVD. 

Friotaíocht Ardchaitheamh:Soláthraíonn cruas agus marthanacht TaC friotaíocht den scoth le caitheamh agus cuimilt ó shreabhadh leanúnach gás agus ábhar cáithníneach féideartha laistigh den chóras MOCVD. 

Buntáistí do Fheidhmíocht MOCVD:

Cuireann úsáid Fáinne Treorach Cumhdach Semicorex TaC i dtrealamh MOCVD go mór le:

Éideachas Sraithe Eipiteaiseach Feabhsaithe:Cinntíonn rialú beacht ar shreabhadh gáis arna éascú ag an TaC Coating Guide Ring dáileadh réamhtheachtaithe aonfhoirmeach, rud a fhágann go bhfuil fás ciseal epitaxial an-aonfhoirmeach le tiús agus comhdhéanamh comhsheasmhach.

Cobhsaíocht Próisis Feabhsaithe:Cuireann cobhsaíocht theirmeach agus táimhe ceimiceach TaC le timpeallacht imoibrithe níos cobhsaí agus rialaithe laistigh den seomra MOCVD, ag laghdú éagsúlachtaí próisis agus ag feabhsú in-atáirgtheachta.

Aga fónaimh Trealaimh Méadaithe:Laghdaíonn marthanacht agus saolré leathnaithe an Fháinne Treorach Cumhdach TaC an gá atá le hathsholáthar go minic, ag íoslaghdú aga cothabhála agus ag uasmhéadú éifeachtúlacht oibriúcháin an chórais MOCVD.