Ceann Cith Brataithe TaC

Is píosa trealaimh chun cinn é ceann cithfholcadh brataithe Semicorex TaC a úsáidtear go príomha sa tionscal leathsheoltóra. Is cuid lárnach den phróiseas CVD é, áit a ndéantar scannáin tanaí a thaisceadh ar sliseoga leathsheoltóra. Is í príomhfheidhm an chinn cithfholcartha atá brataithe le TaC ná gáis imoibríocha a dháileadh go haonfhoirmeach thar an dromchla wafer, ag cinntiú sciath cothrom agus cáilíocht scannáin is fearr.

Roghnaítear carbíd Tantalum (TaC) chun an ceann cithfholcadh a bhratú mar gheall ar a airíonna eisceachtúla. Tá cáil ar TaC as a chruas mhór, a leáphointe ard, agus a chobhsaíocht theirmeach agus cheimiceach den scoth. Déanann na hairíonna seo ceann cithfholcadh atá brataithe le TaC iontach chun coinníollacha crua an phróisis PECVD a sheasamh, áit a bhfuil teochtaí arda agus gáis imoibríocha i réim. Cuireann an sciath TaC go mór le marthanacht agus saolré an chinn cith, ag laghdú an gá atá le hathsholáthar agus cothabháil rialta.

Déantar dearadh an chinn cithfholctha TaC a dhearadh go cúramach chun sreabhadh agus dáileadh gáis a bharrfheabhsú. Tá an iliomad poill ann atá suite go beacht trína gcuirtear na gáis phróisis isteach sa seomra imoibrithe. Tá dáileadh cothrom gás ríthábhachtach chun sil-leagan aonfhoirmeach scannáin a bhaint amach ar an dromchla sliseog. D'fhéadfadh lochtanna sa scannán tanaí a bheith mar thoradh ar aon neamhrialtachtaí sa sreabhadh gáis, rud a dhéanann drochthionchar ar fheidhmíocht na bhfeistí leathsheoltóra.

Is comhpháirt ríthábhachtach é ceann cithfholcadh brataithe Semicorex TaC sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra, ag tairiscint feidhmíocht agus iontaofacht gan mheaitseáil. Áirithíonn a chuid airíonna eisceachtúla, a dhíorthaítear ón sciath chomhdhúile tantalam, marthanacht agus friotaíocht do dhálaí crua an phróisis PECVD. Leis an dearadh beacht agus feidhmiúlacht níos fearr, tá ról ríthábhachtach ag an gceann cithfholcadh brataithe TaC maidir le taisceadh scannán tanaí ardcháilíochta a bhaint amach, ag cur le táirgeadh ardfheistí leathsheoltóra ar deireadh thiar. De réir mar a fhorbraíonn an tionscal, ní fhásfaidh tábhacht na gcomhpháirteanna nuálaíocha sin ach amháin, rud a réitigh an bealach don chéad ghlúin eile de theicneolaíocht leathsheoltóra.