Ceann Cith Soladach SiC

Príomhghnéithe Ceann Cith Soladach SiC

1. Fiú Dáileadh Gáis Réamhtheachtaithe

Príomhfheidhm atá ag Ceann Cith Soladach SiC ná gáis réamhtheachtaithe a dháileadh go cothrom ar fud an tsubstráit le linn próisis CVD. Tá an dáileadh cothrom seo riachtanach chun comhsheasmhacht agus cáilíocht na scannán tanaí a fhoirmítear ar sliseoga leathsheoltóra a chothabháil.

2. Éifeachtaí Spraeála Cobhsaí agus Iontaofa

Ráthaíonn dearadh an Cheann Cith Soladach SiC éifeacht spraeála cobhsaí agus iontaofa. Tá an iontaofacht seo ríthábhachtach chun aonfhoirmeacht agus comhsheasmhacht na dtorthaí próiseála a áirithiú, atá bunúsach do mhonarú leathsheoltóra ardchaighdeáin.

Buntáistí a bhaineann le Comhpháirteanna Bulc SiC CVD

Cuireann airíonna uathúla bulc-SIC CVD go mór le héifeachtúlacht Cheann Cith Soladach SiC. Áirítear ar na hairíonna seo:

1. Ard-Dlús agus Friotaíocht Caith

Tá dlús ard de 3.2 g/cm³ ag comhpháirteanna CVD mórchóir SiC, rud a chuireann friotaíocht den scoth ar chaitheamh agus ar thionchar meicniúil. Cinntíonn an marthanacht seo gur féidir le Ceann Cith Soladach SiC seasamh le déine na hoibríochta leanúnaí i dtimpeallachtaí leathsheoltóra éilitheach.

2. Seoltacht Teirmeach Sármhaith

Le seoltacht theirmeach de 300 W/m-K, bainistíonn bulc-SIC teas go héifeachtach. Tá an mhaoin seo ríthábhachtach do chomhpháirteanna atá faoi lé timthriallta foircneacha teirmeacha, toisc go seachnaíonn sé róthéamh agus go gcoimeádann sé cobhsaíocht an phróisis.

3. Friotaíocht Cheimiceach Eisceachtúil

Cinntíonn imoibríocht íseal SiC le gáis eitseála, amhail ceimiceáin atá bunaithe ar chlóirín agus fluairín, saolré comhpháirte fada. Tá an fhriotaíocht seo ríthábhachtach chun sláine an Cheann Cith Soladach SiC a chothabháil i dtimpeallachtaí crua ceimiceacha.

4. Friotaíocht Customizable

Is féidir friotachas mórchóir CVD SiC a shaincheapadh laistigh den raon 10^-2 go 10^4 Ω-cm. Ligeann an inoiriúnaitheacht seo don Cheann Cith Soladach SiC freastal ar riachtanais shonracha déantúsaíochta eitseála agus leathsheoltóra.

5. Comhéifeacht Leathnú Teirmeach

Le comhéifeacht leathnaithe teirmeach de 4.8 x 10^-6/°C (25-1000°C), cuireann CVD mórchóir SiC i gcoinne turraing teirmeach. Cinntíonn an fhriotaíocht seo cobhsaíocht tríthoiseach le linn timthriallta teasa agus fuaraithe tapa, rud a choscann teip comhpháirteanna.

6. Marthanacht i dTimpeallacht Plasma

I bpróisis leathsheoltóra, tá nochtadh do gháis plasma agus imoibríocha dosheachanta. Laghdaíonn friotaíocht níos fearr mórchóir CVD SiC le creimeadh agus díghrádú minicíocht na gcostas athsholáthair agus cothabhála foriomlán.

Feidhmchláir ar fud na Déantúsaíochta Leathsheoltóra

1. Taistil Cheimiceach Gaile (CVD)

I bpróisis CVD, tá ról ríthábhachtach ag Ceann Cith Soladach SiC trí dháileadh gáis aonfhoirmeach a sholáthar, rud atá riachtanach chun scannáin tanaí ardchaighdeáin a thaisceadh. Mar gheall ar a chumas timpeallachtaí ceimiceacha agus teirmeacha crua a sheasamh, tá sé fíor-riachtanach san iarratas seo.

2. Próisis eitseála

Mar gheall ar fhriotaíocht cheimiceach agus cobhsaíocht theirmeach an Cheann Cith Soladach SiC tá sé oiriúnach d'iarratais eitseála. Cinntíonn a marthanacht gur féidir leis na ceimiceáin ionsaitheach agus na coinníollacha plasma a fhaightear go coitianta i bpróisis eitseála a láimhseáil.

3. Bainistíocht Theirmeach

Laistigh de mhonarú leathsheoltóra, tá bainistíocht éifeachtach teirmeach ríthábhachtach. Cuidíonn seoltacht ard teirmeach an Solid SiC Shower Head le teas a scaipeadh go héifeachtach, ag cinntiú go bhfanann na comhpháirteanna a bhaineann leis an bpróiseas laistigh de theocht oibriúcháin shábháilte.

4. Próiseáil Plasma

I bpróiseáil plasma, cinntíonn friotaíocht an Solid SiC Shower Head in aghaidh díghrádaithe spreagtha plasma feidhmíocht fhadtéarmach. Tá an marthanacht seo ríthábhachtach chun comhsheasmhacht an phróisis a chothabháil agus chun amanna neamhfhónaimh a íoslaghdú de bharr teip trealaimh.