Is é Semicorex do pháirtí chun feabhas a chur ar phróiseáil leathsheoltóra. Tá ár bratuithe chomhdhúile sileacain dlúth, teocht ard agus resistant ceimiceach, a úsáidtear go minic sa timthriall iomlán de mhonarú leathsheoltóra, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra wafer & wafer agus monarú leathsheoltóra.
Tá comhpháirteanna ceirmeacha SiC ard-íonachta ríthábhachtach do phróisis sa leathsheoltóir. Réimsíonn ár dtairiscint ó chodanna tomhaltáin do threalamh próiseála sliseog, mar bhád sliseog Silicon Carbide, paddles cantilever, feadáin, srl le haghaidh Epitaxy nó MOCVD.
Buntáistí do phróisis leathsheoltóra
Ní mór teocht ard agus glanadh ceimiceach crua a bheith ag na céimeanna sil-leagan scannáin tanaí ar nós epitaxy nó MOCVD, nó próiseáil láimhseála wafer mar eitseáil nó ionchlannú ian. Soláthraíonn Semicorex tógáil chomhdhúile sileacain ard-íonachta (SiC) friotaíocht teasa níos fearr agus friotaíocht ceimiceach durable, fiú aonfhoirmeacht theirmeach le haghaidh tiús agus friotaíocht ciseal epi comhsheasmhach.
Claiseanna Seomra →
Ní mór do Cheipíní Seomra a úsáidtear i bhfás criostail agus i bpróiseáil láimhseála sliseog teocht ard agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh.
Paddle Cantilever →
Is comhpháirt ríthábhachtach é Cantilever Paddle a úsáidtear i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra, go háirithe i bhfoirnéisí idirleata nó LPCVD le linn próisis amhail idirleathadh agus RTP.
Tube Próiseála →
Is comhpháirt ríthábhachtach é Próiseas Tube, atá deartha go sonrach in iarratais phróiseála leathsheoltóra éagsúla mar RTP, idirleathadh.
Báid Wafer →
Úsáidtear Wafer Boat i bpróiseáil leathsheoltóra, tá sé deartha go cúramach chun a chinntiú go gcoimeádtar na sliseog íogair sábháilte le linn na gcéimeanna ríthábhachtacha den táirgeadh.
Fáinní Gile →
Fáinne inlet gáis brataithe SiC ag trealamh MOCVD Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh ag fás cumaisc, a bhfuil cobhsaíocht mhór aige i dtimpeallacht mhór.
Fáinne Fócais →
Soláthairtí Semicorex Tá fáinne fócais Brataithe Silicon Carbide i ndáiríre seasmhach le haghaidh RTA, RTP nó glanadh ceimiceach crua.
Wafer Chuck →
Tá sceallóga folúis ceirmeacha ultra-árasán Semicorex brataithe SiC ardíonachta á n-úsáid sa phróiseas láimhseála wafer.
Tá táirgí ceirmeacha ag Semicorex freisin i Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Nítríde Alúmanam (AIN), Zirconia (ZrO2), Ceirmeacha Ilchodach, etc.
Is comhpháirt ardleibhéil é Chuck Leictreastatach Semicorex (ESC) a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, atá deartha chun sliseog leathsheoltóra a shealbhú go daingean le linn céimeanna próiseála éagsúla. Agus ár dtiomantas do tháirgí den scoth a sheachadadh ar phraghsanna iomaíocha, táimid réidh le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.*
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs comhpháirt riachtanach é an Chuck Wafer Carbide Silicon Semicorex sa phróiseas epitaxial leathsheoltóra. Feidhmíonn sé mar chuck bhfolús chun sliseog a choinneáil go daingean le linn céimeanna ríthábhachtacha déantúsaíochta. Táimid tiomanta do tháirgí den scoth a sheachadadh ar phraghsanna iomaíocha, agus muid féin i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.*
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs comhpháirt thar a bheith speisialaithe é Semicorex SiC Ceramic Chuck atá deartha le húsáid i bpróisis epitaxial leathsheoltóra, áit a bhfuil a ról mar chuck bhfolús ríthábhachtach. Agus ár dtiomantas do tháirgí den scoth a sheachadadh ar phraghsanna iomaíocha, táimid réidh le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.*
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs comhpháirt leathsheoltóra chun cinn é pláta ICP Semicorex SiC a innealtóireacht go sonrach chun freastal ar éilimh dhian na bpróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra nua-aimseartha. Tá an táirge ardfheidhmíochta seo deartha leis an teicneolaíocht ábhair chomhdhúile sileacain (SiC) is déanaí, a thairgeann marthanacht, éifeachtúlacht agus iontaofacht gan sárú, rud a fhágann go bhfuil sé ina chomhpháirt riachtanach i ndéanamh feistí leathsheoltóra ceannródaíocha. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín *.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs comhpháirt ríthábhachtach agus sár-riachtanach é Semicorex SiC ICP Eitseála sa tionscal leathsheoltóra, atá deartha chun cruinneas agus éifeachtúlacht na bpróiseas eitseála a fheabhsú. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín *.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánTá Éifeachtaí Deiridh Semicorex Alumina tagtha chun cinn mar uirlis fíor-riachtanach i réimse éilitheach na déantúsaíochta leathsheoltóra, nuair is féidir fiú imperfections micreascópacha dochar a dhéanamh ar fheidhmíocht gléas, ní féidir ról na láimhseála beachtas wafer a áibhéil. Soláthraíonn Éifeachtaí Deiridh Alumina meascán uathúil de bheachtais, íonachta, agus marthanacht atá riachtanach chun sliseoga íogair sileacain a ionramháil le linn próisis déantúsaíochta éagsúla.**
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán