Is é Semicorex do pháirtí chun feabhas a chur ar phróiseáil leathsheoltóra. Tá ár bratuithe chomhdhúile sileacain dlúth, teocht ard agus resistant ceimiceach, a úsáidtear go minic sa timthriall iomlán de mhonarú leathsheoltóra, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra wafer & wafer agus monarú leathsheoltóra.
Tá comhpháirteanna ceirmeacha SiC ard-íonachta ríthábhachtach do phróisis sa leathsheoltóir. Réimsíonn ár dtairiscint ó chodanna tomhaltáin do threalamh próiseála sliseog, mar bhád sliseog Silicon Carbide, paddles cantilever, feadáin, srl le haghaidh Epitaxy nó MOCVD.
Buntáistí do phróisis leathsheoltóra
Ní mór teocht ard agus glanadh ceimiceach crua a bheith ag na céimeanna sil-leagan scannáin tanaí ar nós epitaxy nó MOCVD, nó próiseáil láimhseála wafer mar eitseáil nó ionchlannú ian. Soláthraíonn Semicorex tógáil chomhdhúile sileacain ard-íonachta (SiC) friotaíocht teasa níos fearr agus friotaíocht ceimiceach durable, fiú aonfhoirmeacht theirmeach le haghaidh tiús agus friotaíocht ciseal epi comhsheasmhach.
Claiseanna Seomra →
Ní mór do Cheipíní Seomra a úsáidtear i bhfás criostail agus i bpróiseáil láimhseála sliseog teocht ard agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh.
Paddle Cantilever →
Is comhpháirt ríthábhachtach é Cantilever Paddle a úsáidtear i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra, go háirithe i bhfoirnéisí idirleata nó LPCVD le linn próisis amhail idirleathadh agus RTP.
Tube Próiseála →
Is comhpháirt ríthábhachtach é Próiseas Tube, atá deartha go sonrach in iarratais phróiseála leathsheoltóra éagsúla mar RTP, idirleathadh.
Báid Wafer →
Úsáidtear Wafer Boat i bpróiseáil leathsheoltóra, tá sé deartha go cúramach chun a chinntiú go gcoimeádtar na sliseog íogair sábháilte le linn na gcéimeanna ríthábhachtacha den táirgeadh.
Fáinní Gile →
Fáinne inlet gáis brataithe SiC ag trealamh MOCVD Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh ag fás cumaisc, a bhfuil cobhsaíocht mhór aige i dtimpeallacht mhór.
Fáinne Fócais →
Soláthairtí Semicorex Tá fáinne fócais Brataithe Silicon Carbide i ndáiríre seasmhach le haghaidh RTA, RTP nó glanadh ceimiceach crua.
Wafer Chuck →
Tá sceallóga folúis ceirmeacha ultra-árasán Semicorex brataithe SiC ardíonachta á n-úsáid sa phróiseas láimhseála wafer.
Tá táirgí ceirmeacha ag Semicorex freisin i Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Nítríde Alúmanam (AIN), Zirconia (ZrO2), Ceirmeacha Ilchodach, etc.
Bródúil as Semicorex PBN Heaters dearadh sofaisticiúla trí-sraitheanna a innealtóireacht chun tagarmharcanna feidhmíochta a ath-shainmhíniú. Ag croílár tá bunús atá déanta as nítríde bórón pirealaíoch ard-íonachta (PBN), a bhfuil cáil air as a seoltacht theirmeach eisceachtúil agus a sláine struchtúrach láidir. táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSeasann Iompróir Bád Wafer Semicorex mar bhuaicphointe nuálaíochta i réimse na próiseála leathsheoltóra. Tá an t-iompróir seo déanta go cúramach as graifít agus daingnithe le bratú ceannródaíoch de Chairbíd Sileacain Taiscí Gaile Ceimiceach (CVD) (SiC), agus is eiseamláir é innealtóireacht bheachtais agus ardeolaíocht ábhar. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs píosa trealaimh an-dul chun cinn é Semicorex Baffle Wafer Boat a úsáidtear i bpróiseáil leathsheoltóra. Tá sé deartha go cúramach chun a chinntiú go gcoimeádtar na sliseog íogair sábháilte le linn na gcéimeanna ríthábhachtacha den táirgeadh. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánLéiríonn Semicorex SiC Vacuum Chuck buaic na hinnealtóireachta beachta atá curtha in oiriúint don tionscal leathsheoltóra éilitheach. Tá an gléas nuálaíoch seo déanta as foshraitheanna graifíte agus feabhsaithe trí theicnící úrscothacha maidir le Sil-leagan Ceimiceach Gaile (CVD) agus comhtháthaíonn an gléas nuálaíoch seo gan uaim airíonna neamhchosúla an bhrataithe Silicon Carbide (SiC). Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSeasann Semicorex SiC Wafer Chuck mar bhuaicphointe nuálaíochta i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, ag feidhmiú mar chomhpháirt ríthábhachtach i bpróiseas casta monaraithe leathsheoltóra. Tá an chuck seo déanta le cruinneas mionchúiseach agus teicneolaíocht cheannródaíoch, agus tá ról fíor-riachtanach ag an chuck seo i dtacú agus i gcobhsú sliseog chomhdhúile sileacain (SiC) le linn céimeanna éagsúla den táirgeadh. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSemicorex Zirconia ZrO2 Robot Arm, comhpháirt ríthábhachtach i bpróiseáil leathsheoltóra le haghaidh aistriú agus láimhseáil wafer gan uaim. Tá an lámh ceirmeach seo, atá déanta chun dian-éilimh na dtimpeallachtaí ardteochta, creimneach agus scríobacha, bródúil as marthanacht agus iontaofacht gan sárú. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán