Ceann Cith SiC

Is comhpháirt riachtanach den phróiseas fáis epitaxial é Ceann Cith Semicorex SiC, atá deartha go sonrach chun feabhas a chur ar aonfhoirmeacht agus éifeachtúlacht sil-leagan scannáin tanaí ar sliseoga leathsheoltóra. Tá SiC Shower Head déanta as mórchóir Silicon Carbide (SiC). Ar a dtugtar as a seoltacht theirmeach eisceachtúil, a neart meicniúil, agus a fhriotaíocht cheimiceach, cinntíonn an Ceann Cith SiC seo an fheidhmíocht is fearr i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach atá tipiciúil d'imoibreoirí epitaxial.

Déantar cruth ceann cithfholcadh Ceann Cith SiC a innealtóireacht go cúramach chun dáileadh cothrom gás réamhtheachtaithe thar an dromchla sliseog a éascú. Ceadaíonn a raon de phoill druileáilte go beacht sreabhadh rialaithe agus comhsheasmhach, rud atá ríthábhachtach chun sraitheanna epitaxial ardcháilíochta a bhaint amach le tiús agus comhdhéanamh aonfhoirmeach. Laghdaíonn an dearadh seo imoibrithe céim gáis agus giniúint cáithníní, ag cur le táirgeacht sliseog níos fearr agus feidhmíocht gléas.

Ideal le húsáid i suíomhanna taighde agus táirgeachta ard-toirte araon, seasann an SiC Shower Head amach mar gheall ar a marthanacht agus a iontaofacht, ag laghdú go mór aga neamhfhónaimh cothabhála agus costais oibriúcháin. Mar gheall ar a chomhoiriúnacht le próisis éagsúla epitaxial, lena n-áirítear Teistíocht Cheimiceach Gaile (CVD), is sócmhainn ildánach agus luachmhar é sa tionscal déantúsaíochta leathsheoltóra.