Tacaíocht Susceptor Grianchloch

I dtimpeallacht dhian na déantúsaíochta leathsheoltóra, is minic a luíonn an difríocht idir bhaisc ard-toraidh agus teip costasach i cruinneas micreascópach suite wafer. Feidhmíonn Seafta Tacaíochta Susceptor Grianchloch Semicorex (dá ngairtear Seafta Grianchloch Epitaxial) mar chnámh droma litriúil an taiscthe gaile ceimiceach (CVD) agus próisis fáis epitaxial. Tá an chomhpháirt seo innealtóireachta chun grádáin theirmeacha foircneacha agus nochtadh ceimiceach a sheasamh, agus tá sé ríthábhachtach maidir le sreabhán, gluaiseacht ingearach agus rothlú súdairí nó iompróirí sliseog.

Ról Grianchloch i bPróisis Eipiteach

Éilíonn an próiseas epitaxial teocht go minic os cionn 1000 ° C agus timpeallacht saor ó fiú an t-éilliú miotalach is lú. Theipfeadh ar ábhair chaighdeánacha nó shárófaí iad faoi na coinníollacha seo. Déantar ár dTacaíocht Susceptor Grianchloch a mhonarú ó shilice comhleáite sintéiseach ultra-ard-íonachta, ag cinntiú:

Cobhsaíocht Theirmeach Eisceachtúil:Friotaíocht ard ar turraing teirmeach, cosc ​​a chur ar scoilteadh le linn timthriallta teasa agus fuaraithe tapa.

Inertness Cheimiceach:Neamh-imoibríoch le gáis réamhtheachtaithe agus gníomhairí glantacháin, ag cothabháil sláine an wafer leathsheoltóra.

Éilliú Íosta:Le leibhéil eisíontais arna dtomhas i gcodanna in aghaidh an mhilliúin (ppm), cuireann sé cosc ​​​​ar "dhópáil" an t-atmaisféar le heilimintí nach dteastaíonn.

Feidhmeanna Lárnacha & Buntáistí Teicniúla

Is í príomhfheidhm Tacaíocht Susceptor Grianchloch ná gluaiseacht ingearach agus rothlach an tsoiscín a éascú - an pláta a choinníonn an wafer leathsheoltóra.

1. Seasamh Ingearach Beachtas

In imoibreoir tipiciúil, cinneann an fad idir an dromchla wafer agus an inlet gáis aonfhoirmeacht scannáin. Déantar ár seaftaí Grianchloch a mheaisíniú de réir lamháltais fho-milliméadar. Ligeann sé seo do chóras rialaithe gluaisne an trealaimh an t-ionramháil a ardú nó a ísliú le fíor-atrialltacht, ag cinntiú go mbíonn dinimic shreabhadh gáis comhionann ag gach sliseog i rith táirgeachta.

2. Tairiscint agus Aistriú Gan uaim

Braitheann éifeachtúlacht i ndéantúsaíocht ardtoirte (HVM) ar luas láimhseála sliseog. Cinntíonn dearadh cineál bileog agus easnacha struchtúracha treisithe an seafta tacaíochta go bhféadfaidh sé meáchan graifít trom nó meáchan a iomparsusceptors brataithe cairbíde sileacain (SiC).gan bowing nó creathadh. Tá an chobhsaíocht seo riachtanach chun samplaí a aistriú go tapa idir seomraí próiseála nó stáisiúin oibre éagsúla, rud a laghdóidh aga neamhfhónaimh.

3. Insliú Teirmeach Optamaithe

Cé go gcaithfidh an susceptor a bheith te, is minic go gcaithfidh na comhpháirteanna meicniúla thíos fanacht níos fuaire.Grianchlochfeidhmíonn sé mar inslitheoir teirmeach nádúrtha. Laghdaíonn struchtúr log, cosúil le feadán an seafta an cosán seolta teasa, ag cosaint na rónta mótair agus bhfolús atá suite ag bun an imoibreora.