Breogán Grianchloch le haghaidh Tarraingt Criostail Aonair Sileacain

Is é Semicorex Grianchloch Breogán le haghaidh Tarraingt Criostail Aonair Sileacain an croí-chomhpháirt i ndéantúsaíocht wafer Silicon. Cinneann an chéim ullmhúcháin aon-criostail paraiméadair theicniúla, mar shampla an trastomhas, treoshuíomh criostail, cineál dópála, raon friotachas agus dáileadh, tiúchan ocsaigine agus carbóin, saolré an iompróra mionlaigh, agus lochtanna laitíse an sileacain. Éilíonn sé go ndéanfaí micrea-lochtanna, tiúchan ocsaigine, neamhíonachtaí miotail, agus aonfhoirmeacht tiúchan iompróra a rialú laistigh de raon áirithe.

I bpróiseas fáis aonchriostail Czochralski, ní mór don Grianchloch Breogán le haghaidh Tarraingt Criostail Aonair Sileacain teochtaí níos airde ná an leáphointe sileacain (1420 ℃) ​​a sheasamh. Tá an breogán Grianchloch tréshoilseach den chuid is mó agus tá sé comhdhéanta de shraitheanna iolracha.

Is réigiún é an ciseal seachtrach le dlús ard mboilgeog, ar a dtugtar an ciseal ilchodach mboilgeog; is ciseal trédhearcach 3-5mm an ciseal istigh, ar a dtugtar an ciseal ídiú mboilgeog. Laghdaíonn láithreacht an chiseal ídiú mboilgeog dlús an limistéir teagmhála le tuaslagán breogán, rud a chuireann feabhas ar fhás aonchriostail.

Ós rud é go ndéanann an ciseal istigh de bhreogán Grianchloch teagmháil dhíreach leis an leacht Silicon, beidh sé ag tuaslagadh go leanúnach isteach i Silicon, agus fásfaidh an micrea-bhoilgeog sa chiseal trédhearcach breogán suas chun na cáithníní Grianchloch agus na micrea-bhoilgeoga a bhriseadh agus a scaoileadh. Sreabhann na neamhíonachtaí seo tríd an leá Sileacain ar fad ansin, bíonn tionchar díreach acu ar chriostalú agus ar cháilíocht an chriostail aonair sileacain.

Breogán Grianchlochle haghaidh Silicon Single Crystal Pulling déanann sé teagmháil dhíreach le leacht Silicon, mar sin na neamhíonachtaí agus na boilgeoga nach bhfuil rialaithe go héifeachtach sa phróiseas táirgthe, is léir go mbeidh tionchar aige ar thorthaí tarraingt criostail, fiú go dteipfidh ar tharraingt criostail agus ar mhilleadh ábhar / dramhaíola. Toisc go n-éilíonn sliseoga sileacain aonchriostail íonacht ard agus go bhfuil costas próiseas tarraingthe criostail aonair ard, tá éilimh ard ar Grianchloch Crucible le haghaidh Tarraingt Criostail Aonair Silicon i dtéarmaí íonachta, feidhmíocht mboilgeog, agus cobhsaíocht cáilíochta.

Neamhíonachtaí: Bíonn tionchar díreach ag neamhíonachtaí ar fheidhmíocht agus ar tháirgeacht criostail aonair. Dá bhrí sin, an t-ábhar eisíontas angrianchlochtá sé ríthábhachtach breogán a bhíonn i dteagmháil dhíreach leis an leá sileacain. Is minic go mbíonn criostalú sa bhreogán Grianchloch mar thoradh ar eisíontais iomarcacha sa bhreogán (carnadh áitiúil d’ian eisíontais as a dtagann slaodacht laghdaithe). Má tharlaíonn criostalú in aice leis an dromchla istigh, tá seans maith go n-éireoidh ciseal criostalaithe áitiúil ró-tiubh, rud a choscann tuilleadh fáis aonchriostail; má fhoirmíonn ciseal criostalaithe tiubh ar an mballa seachtrach, is dócha go dtarlóidh bulging ag bun nó cuaire; má théann criostalú isteach sa chorp breogán, is féidir go dtiocfadh sraith iarmhairtí tromchúiseacha mar sceitheadh ​​sileacain go héasca.

Bubbles: Tá cuimsiú gás-leachtach i ngaineamh Grianchloch ardíonachta féin. Le linn an phróisis tarraingthe criostail, tuaslagann dromchla istigh an bhreogán i dteagmháil leis an leá sileacain isteach sa leá sileacain go leanúnach.  Fásann na boilgeoga micrea sa chiseal trédhearcach go leanúnach, agus na boilgeoga is gaire don réabadh dromchla is faide istigh, ag scaoileadh micrea-cháithníní Grianchloch agus micrea boilgeoga isteach sa leá sileacain. Iompraítear na neamhíonachtaí laistigh de na micrea-cháithníní agus na mboilgeog micrea seo ar fud an leá sileacain ar fad, rud a dhéanann difear díreach do chriostalú sileacain (ráta toraidh, ráta criostalaithe, am téimh, costais phróiseála díreacha, etc.) agus cáilíocht an sileacain aonchriostail (sliseanna bréifnithe, sceallóga dubha, etc.).