An t-aonad i leathsheoltóir: Angstrom

Cad é Angstrom?

Is aonad an-bheag fad é Angstrom (siombail: Å), a úsáidtear go príomha chun cur síos a dhéanamh ar scála feiniméin mhicreascópacha, amhail an fad idir adaimh agus móilíní nó tiús na scannán tanaí i ndéantúsaíocht sliseog. Tá angstrom amháin comhionann le \(10^{-10}\) méadar, atá comhionann le 0.1 nanaiméadar (nm).

Chun an coincheap seo a léiriú ar bhealach níos intuigthe, smaoinigh ar an analaí seo a leanas: Tá trastomhas ghruaig dhaonna thart ar 70,000 nanaiméadar, aistríonn go 700,000 Å. Má shamhlaímid 1 mhéadar mar thrastomhas an Domhain, ansin cuirtear 1 Å i gcomparáid le trastomhas grán beag gainimh ar dhromchla an Domhain.

I ndéantúsaíocht chiorcaid chomhtháite, tá an angstrom úsáideach go háirithe toisc go soláthraíonn sé bealach cruinn agus áisiúil chun cur síos a dhéanamh ar thiús sraitheanna scannáin thar a bheith tanaí, mar shampla ocsaíd sileacain, nítríd sileacain, agus sraitheanna dópáilte. Le dul chun cinn na teicneolaíochta próiseas leathsheoltóra, tá an cumas chun tiús a rialú tar éis leibhéal na sraitheanna adamhach aonair a bhaint amach, rud a fhágann gur aonad fíor-riachtanach sa réimse é an angstrom.

I ndéantúsaíocht chiorcaid chomhtháite, tá úsáid angstroms fairsing agus ríthábhachtach. Tá ról suntasach ag an tomhas seo i bpríomhphróisis cosúil le taisceadh scannán tanaí, eitseáil, agus ionchlannú ian. Seo thíos roinnt cásanna tipiciúla:

1. Rialú Tiús Scannán Thin

Úsáidtear ábhair scannáin tanaí, mar shampla ocsaíd sileacain (SiO₂) agus nítríde sileacain (Si₃N₄), go coitianta mar shraitheanna inslithe, sraitheanna masc, nó sraitheanna tréleictreach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá tionchar ríthábhachtach ag tiús na scannán seo ar fheidhmíocht gléas.  

Mar shampla, is gnách go mbíonn ciseal ocsaíd geata MOSFET (trasraitheoir éifeacht réimse leathsheoltóra ocsaíd mhiotail) cúpla nanaiméadar nó fiú cúpla angstrom tiubh. Má tá an ciseal ró-tiubh, féadfaidh sé feidhmíocht gléas a dhíghrádú; má tá sé ró-tanaí, d'fhéadfadh briseadh síos a bheith mar thoradh air. Ligeann teicneolaíochtaí sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) agus sil-leagan adamhach (ALD) scannáin thanaí a thaisceadh le cruinneas leibhéal angstrom, ag cinntiú go gcomhlíonann an tiús na ceanglais dearaidh.

2. Rialú Dópála  

I dteicneolaíocht ionchlannú ian, cuireann doimhneacht treá agus dáileog na n-ian ionchlannaithe isteach go mór ar fheidhmíocht gléas leathsheoltóra. Is minic a úsáidtear angstroms chun cur síos a dhéanamh ar dhoimhneacht an ionchlannú. Mar shampla, i bpróisis acomhail éadomhain, is féidir leis an doimhneacht ionchlannú a bheith chomh beag le na mílte angstromas.

3. Cruinneas eitseála

I gcás eitseála tirim, tá sé ríthábhachtach an ráta eitseála a rialú go beacht agus an t-am stoptha síos go dtí an leibhéal angstrom chun damáiste a sheachaint don bhunábhar. Mar shampla, le linn eitseála geata trasraitheora, is féidir feidhmíocht dhíghrádaithe a bheith mar thoradh ar eitseáil iomarcach.

4. Teicneolaíocht Taiscí Ciseal Adamhach (ALD).

Is teicníocht é ALD a chuireann ar chumas ábhar a leagan ciseal adamhach amháin ag an am, agus de ghnáth ní bhíonn ach tiús scannáin de 0.5 go 1 Å i ngach timthriall. Tá an teicneolaíocht seo tairbheach go háirithe chun scannáin ultra-tanaí a dhéanamh, mar thréleictreach geata a úsáidtear le hábhair tairiseach ard-thréleictreach (Ard-K).

Cuireann Semicorex ardchaighdeán ar fáilsliseog leathsheoltóra. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort dul i dteagmháil linn.

Fón teagmhála # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com