Paraiméadair Próisis Eitseála

EitseáilIs céim ríthábhachtach é i ndéantúsaíocht sliseanna, a úsáidtear chun struchtúir chiorcaid nóiméad a chruthú ar sliseoga sileacain. Baineann sé le sraitheanna ábhar a bhaint trí bhealaí ceimiceacha nó fisiceacha chun riachtanais dearaidh ar leith a chomhlíonadh. Tabharfaidh an t-alt seo isteach roinnt príomhpharaiméadair eitseála, lena n-áirítear eitseáil neamhiomlán, ró-eitseáil, ráta eitseála, tearcghearradh, roghnaíocht, aonfhoirmeacht, cóimheas gné, agus eitseáil iseatrópach/anisotrópach.

Cad é NeamhiomlánEitseáil?

Tarlaíonn eitseáil neamhiomlán nuair nach mbaintear an t-ábhar sa limistéar ainmnithe go hiomlán le linn an phróisis eitseála, rud a fhágann sraitheanna iarmharacha i bpoill le patrún nó ar dhromchlaí. Is féidir leis an staid seo eascairt as fachtóirí éagsúla, mar shampla am eitseála neamhleor nó tiús scannáin míchothrom.

ró-Eitseáil

Chun a chinntiú go mbaintear an t-ábhar riachtanach go léir agus go gcuirtear san áireamh éagsúlachtaí i dtiús na gciseal dromchla, is gnách go n-ionchorpraítear méid áirithe ró-eitseála sa dearadh. Ciallaíonn sé seo go sáraíonn an doimhneacht eitseála iarbhír an spriocluach. Tá ró-eitseáil iomchuí riachtanach chun próisis ina dhiaidh sin a chur i gcrích go rathúil.

EtchRáta

Tagraíonn an ráta etch don tiús ábhar a bhaintear in aghaidh an aonaid ama agus is táscaire ríthábhachtach é d'éifeachtúlacht eitseála. Feiniméan coitianta is ea an éifeacht luchtaithe, nuair a bhíonn rátaí eitse laghdaithe nó dáileadh míchothrom eitse mar thoradh ar phlasma imoibríoch neamhleor. Is féidir é seo a fheabhsú trí choinníollacha próisis cosúil le brú agus cumhacht a choigeartú.

Foghearradh

Tarlaíonn foghearradh nuair aeitseáila tharlaíonn ní amháin sa limistéar sprioc ach freisin leathnaíonn síos ar feadh an imill an photoresist. Is féidir leis an bhfeiniméan seo a bheith ina chúis le ballaí taobh claonta, rud a dhéanann difear do chruinneas tríthoiseach an fheiste. Trí shreabhadh gáis agus am eitseála a rialú, cabhraíonn sé seo le tarlú tearcghearrtha a laghdú.

Roghnaíocht

Is í an roghnaíocht an cóimheas idiretchrátaí idir dhá ábhar éagsúla faoi na coinníollacha céanna. Ligeann ard-roghnaíocht rialú níos cruinne ar cé na codanna atá eitseáilte agus a choinnítear, rud atá ríthábhachtach chun struchtúir ilchisealacha casta a chruthú.

Aonfhoirmeacht

Tomhaiseann aonfhoirmeacht comhsheasmhacht na n-éifeachtaí eitseála thar sliseog iomlán nó idir baisceanna. Cinntíonn dea-aonfhoirmeacht go bhfuil tréithe leictreacha comhchosúla ag gach sliseanna.

Cóimheas Gné

Sainmhínítear cóimheas gné mar an cóimheas idir airde gné agus leithead. De réir mar a fhorbraíonn an teicneolaíocht, tá éileamh méadaitheach ar chóimheasa gnéithe níos airde chun feistí a dhéanamh níos dlúithe agus níos éifeachtaí. Mar sin féin, cruthaíonn sé seo dúshláin doeitseáil, toisc go n-éilíonn sé ingearachacht a chothabháil agus an iomarca creimeadh ag bun an leathanaigh a sheachaint.

Conas Isotrópach agus Anisotrópach a DhéanamhEitseáilDifriúil?

Isotrópacheitseáiltharlaíonn go haonfhoirmeach i ngach treo agus tá sé oiriúnach le haghaidh feidhmeanna sonracha áirithe. I gcodarsnacht leis sin, téann eitseáil anisotrópach chun cinn go príomha sa treo ingearach, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach chun struchtúir chruinne tríthoiseacha a chruthú. Is minic a bhíonn déantúsaíocht chiorcaid chomhtháite nua-aimseartha i bhfabhar an dara ceann le haghaidh rialú cruth níos fearr.

Cuireann Semicorex réitigh SiC/TaC ar ardchaighdeán ar fáil do leathsheoltóirEitseáil ICP/PSS agus eitseáil Plasmapróiseas. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort dul i dteagmháil linn.

Fón teagmhála # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com