2023-06-26
Le linn na próiseála, de ghnáth ní mór sliseoga leathsheoltóra a théamh i bhfoirnéis speisialaithe. De ghnáth is éard atá i bhfoirnéisí den sórt sin feadáin fhada, tanaí, sorcóireacha. Tá na sliseoga suite san fhoirnéis agus san imoibreoir sa chaoi is go socraítear iad feadh plána arna shainiú ag trasghearradh ciorclach na foirnéise nó an imoibreora agus go bhfuil siad spásáilte óna chéile ag pointí réamhshocraithe, a bhfuil spás cothrom eatarthu de ghnáth, feadh ais lárnach an foirnéise nó imoibreoir. Chun an suíomh seo a bhaint amach, is gnách go gcuirtear na sliseoga ar shealbhóirí sliotáin, ar a dtugtar báid sliseog, a chuireann na sliseog i gcumraíocht spásáilte ailínithe feadh na haise lárnach.
Cuirtear báid bheaga ina bhfuil baisceanna sliseog atá le próiseáil ar stuáil fhada cantilever trínar féidir foirnéisí feadánacha agus imoibreoirí a chur isteach agus a tharraingt siar. Cuimsíonn paddles den sórt sin de ghnáth alt iompróra comhréidh ar féidir bád beag amháin nó níos mó a chur, agus láimhseáil fhada, atá suite ag foirceann amháin den chuid iompróra comhréidh, trína bhféadfar na paddles a láimhseáil. De ghnáth cruthaítear cuid trasdula idir an láimhseáil agus an chuid iompróra chun iad a dhéanamh ina n-iomláine. Chomh maith leis sin, caithfidh an láimhseáil síneadh amach as an bhfoirnéis nó as an imoibreoir ionas gur féidir é féin agus an bád wafer a ionramháil.
Tá suíomh na loinge sliseog laistigh den fhoirnéis nó san imoibreoir tábhachtach toisc go bhfuil sé inmhianaithe lár gach sliseog a chur chomh gar agus is féidir d’ais lárnach na foirnéise nó an imoibreora chun coinníollacha próiseála aonfhoirmeacha a bhaint amach a bhfuil na sliseog faoina réir. Dá bhrí sin, ní mór lúbadh an stuáil de bharr meáchan na loinge a iompraíonn na sliseog a mheas sa dearadh stuála, go háirithe ós rud é nach dtacaítear leis an stuáil ach ag foirceann amháin, is é sin an deireadh a théann amach as an seomra foirnéise. Chomh maith le breithniú a dhéanamh ar an dearadh paddle mar thoradh ar na riachtanais meáchain oibriúcháin, ní mór sraith teanntáin atá deartha chun deireadh leathnaithe an stuáil a choinneáil go beacht a úsáid freisin. Caithfidh na teanntáin seo a bheith sách láidir chun an stuáil a choinneáil i riocht inmhianaithe agus iad a bheith simplí le húsáid agus an fhéidearthacht go ndéanfaí damáiste don paddle le linn clampála a íoslaghdú.
Mar sin, bhí gá le paddle cantilever a d'fhéadfaí a úsáid le ualach níos troime agus é fós ag luí leis na córais clampála atá ann cheana féin. Bhí gá freisin le paddle cantilever a léirigh tréithe sraonadh inghlactha thar raon iomlán na n-ualaí meáchain a bhféadfaí é a úsáid leis.
Tá an cMoltar paddle antilever a úsáid chomhdhúile sileacain athchriostalaithe le sraith tanaí CVD SiC, a bhfuil ard-íonacht agus rogha is fearr do na comhpháirteanna i bpróiseáil leathsheoltóra.
Is féidir le Semicorex a sholátharardchaighdeáinpaddles cantileveragusseirbhísí saincheaptha de réir na líníochtaí agus na timpeallachta oibre.