2023-06-19
Aithnítear sileacain-ar-inslitheoir (SOI) mar cheann de na réitigh chun ábhair sileacain mhonacrystalline atá ann cheana féin a athsholáthar i ré na nanaitheicneolaíochta agus is uirlis mhór é chun treocht Dlí Moore a chothabháil. Úsáidtear Silicon-on-insulator, teicneolaíocht tsubstráit a chuireann foshraith "innealtóireacht" in ionad sileacain mórchóir traidisiúnta, ar feadh níos mó ná 30 bliain in iarratais speisialaithe ar nós córais leictreonaic míleata agus spáis, áit a bhfuil buntáistí uathúla ag SOI mar gheall ar a fheabhas. friotaíocht radaíochta agus tréithe ardluais.
Tá ábhair SOI mar bhunús le forbairt na teicneolaíochta SOI, agus braitheann forbairt teicneolaíochta SOI ar dhul chun cinn leanúnach na n-ábhar SOI. Is é an t-easpa ábhar SOI ar chostas íseal agus ar ardchaighdeán a bhí mar phríomhshrian ar theicneolaíocht SOI dul isteach i dtáirgeadh tionsclaíoch ar scála mór. Le blianta beaga anuas, le haibíocht na teicneolaíochta ullmhúcháin ábhar SOI, tá an fhadhb ábhartha a chuireann srian le forbairt na teicneolaíochta SOI á réiteach de réir a chéile, rud a chuimsíonn dhá chineál teicneolaíochta ullmhúcháin ábhar SOI ar deireadh, eadhon, ionchlannú Speration-by-oxygen (SIMOX). agus teicneolaíocht nascáil. Áirítear leis an teicneolaíocht nascáil an teicneolaíocht traidisiúnta Bond and Etch back (BESOI) agus an teicneolaíocht Smart-cut a chomhcheanglaíonn instealladh ian hidrigine agus nascáil atá molta ag M. Bruel, duine de bhunaitheoirí SOITEC sa Fhrainc, chomh maith le hullmhú ábhar Simbond SOI le chéile. leithlisiú ocsaigine agus nascáil a mhol an Dr Meng Chen in 2005. Nascann an teicneolaíocht nua leithlisiú agus nascáil instealladh ocsaigine.