Cén fáth go roghnódh socheapóirí graifíte SiC-brataithe?

Suceptor graifítar cheann de na codanna riachtanacha sa trealamh MOCVD, is é an t-iompróir agus an téitheoir an tsubstráit wafer. Tá ról cinntitheach ag a n-airíonna a bhaineann le cobhsaíocht theirmeach agus aonfhoirmeacht theirmeach i gcáilíocht fáis epitaxial wafer, a chinneann go díreach aonfhoirmeacht agus íonacht na n-ábhar ciseal, agus mar thoradh air sin bíonn tionchar díreach ag a cháilíocht ar ullmhú epitaxy. Idir an dá linn, leis an méadú ar líon na n-úsáidí agus athruithe ar choinníollacha oibre, tá sé an-éasca a chailleadh, agus baineann sé leis na tomhaltáin. Déanann seoltacht agus cobhsaíocht theirmeach den scoth Graphite buntáiste maith marbun-chomhpháirt do threalamh MOCVD. Mar sin féin, mura n-úsáidtear ach graifít íon, tabharfaidh sé aghaidh ar roinnt fadhbanna. Beidh gás creimneach agus iarmhar orgánach miotail sa phróiseas táirgthe, agus creimfidh an bonn graifít agus scaoilfidh sé an púdar, rud a laghdaíonn go mór saol seirbhíse ansusceptor graifít, agus cuirfidh an púdar graifít tite faoi deara freisin truailliú ar an sliseanna, mar sin sa phróiseas ullmhúcháin an bonn freisin Ní mór na fadhbanna seo a réiteach le linn ullmhú an bonn. Is féidir leis an teicneolaíocht sciath fosúchán púdar dromchla a sholáthar, seoltacht teirmeach a fheabhsú, agus dáileadh teirmeach a chothromú, rud a thiocfaidh chun bheith ina phríomhtheicneolaíocht chun an fhadhb seo a réiteach. Is é an príomhtheicneolaíocht an fhadhb seo a réiteach. De réir thimpeallacht iarratais agus riachtanais nasusceptors graifít, ba cheart go mbeadh na tréithe seo a leanas ag an sciath dromchla.

Dlús ard agus timfhilleadh iomlán: tá an bonn graifít ina iomláine i dtimpeallacht oibre ard-teocht, creimneach, ní mór an dromchla a bheith fillte go hiomlán, agus ní mór go mbeadh dlús maith ag an sciath chun ról cosanta maith a imirt.

Maoile dromchla maith: Toisc go n-éilíonn an bonn graifít a úsáidtear le haghaidh fás criostail aonair maoile dromchla an-ard, ní mór maoile bunaidh an bhoinn a choinneáil tar éis an sciath a ullmhú, i.e. caithfidh an dromchla brataithe a bheith aonfhoirmeach.

Neart nasctha maith: Is féidir le laghdú ar an difríocht comhéifeacht leathnú teirmeach idir bonn graifít agus ábhar sciath feabhas a chur go héifeachtach ar an neart nascáil eatarthu, agus nach bhfuil an sciath éasca a crack tar éis timthriallta teirmeach ard agus teocht íseal.

Seoltacht ard teirmeach: Éilíonn fás sliseanna ardchaighdeáin teas tapa agus aonfhoirmeach ón mbonn graifít, mar sin ba cheart go mbeadh seoltacht teirmeach ard ag an ábhar sciath.

Leáphointe ard, ocsaídiú teocht ard agus friotaíocht creimeadh: Ba cheart go mbeadh an sciath in ann oibriú go cobhsaí i dtimpeallachtaí oibre teocht ard agus creimneach.