Deacracht le foshraitheanna SiC a ullmhú

Deacracht i rialú réimse teochta:Éilíonn fás slat criostail Si ach 1500 ℃, agusSlat criostail SiCní mór fás ag teocht ard níos mó ná 2000 ℃, agus tá níos mó ná 250 isiméir SiC, ach úsáidtear an príomh-struchtúr criostail aonair 4H-SiC a úsáidtear chun feistí cumhachta a dhéanamh. Mura bhfuil sé rialaithe go beacht, gheobhaidh struchtúir criostail eile. Ina theannta sin, cinneann an grádán teochta sa bhreogán ráta tarchurtha sublimation SiC agus modh socraithe agus fáis na n-adamh gásach ar an gcomhéadan criostail, rud a chuireann isteach ar an ráta fáis criostail agus ar cháilíocht na criostail. Dá bhrí sin, is gá teicneolaíocht rialaithe réimse teochta córasach a fhoirmiú.

Fás criostail mall:Is féidir le ráta fáis slat criostail Si 30-150mm / h a bhaint amach, agus ní thógann sé ach thart ar 1 lá slata criostail sileacain 1-3m a tháirgeadh; Cé go bhfuil ráta fáis slata criostail SiC, ag cur an modh PVT mar shampla, thart ar 0.2-0.4mm / h, agus tógann sé 7 lá chun níos lú ná 3-6cm a fhás. Tá an ráta fáis criostail níos lú ná aon faoin gcéad d'ábhair sileacain, agus tá an cumas táirgthe thar a bheith teoranta.

Riachtanais arda maidir le paraiméadair táirgí maithe agus toradh íseal:Na paraiméadair lárnacha deFoshraitheanna SiCÁirítear dlús microtube, dlús dislocation, friotachas, warpage, roughness dromchla, etc. Is innealtóireacht chórais casta é adaimh a shocrú ar bhealach ordúil agus fás criostail a chomhlánú i seomra dúnta ardteochta agus táscairí paraiméadar á rialú.

Tá an t-ábhar crua agus brittle, agus tógann gearradh fada agus tá ardchaitheamh air:Níl cruas SiC's Mohs sa dara háit ach le diamant, rud a mhéadaíonn go suntasach an deacracht a bhaineann le gearradh, meilt agus snasta. Tógann sé thart ar 120 uair tinne 3cm tiubh a ghearradh ina 35-40 píosa. Ina theannta sin, mar gheall ar an brittleness ard SiC, beidh an phróiseáil sliseanna a chaitheamh freisin níos mó, agus tá an cóimheas aschuir ach thart ar 60%.

Faoi láthair, is é an treocht treorach is tábhachtaí maidir le forbairt an tsubstráit ná an trastomhas a leathnú. Tá an líne táirgeachta mais 6-orlach sa mhargadh domhanda SiC ag aibiú, agus tá cuideachtaí tosaigh tar éis dul isteach sa mhargadh 8-orlach.