Tionchar Teochta ar Bratuithe CVD-SiC

Teicníc ilúsáideach is ea Taiscí Gaile Ceimiceach (CVD) chun bratuithe ardcháilíochta a tháirgeadh a bhfuil feidhmeanna éagsúla acu i dtionscail ar nós aeraspáis, leictreonaic, agus eolaíocht ábhar. Tá clú ar bhratuithe CVD-SiC as a n-airíonna eisceachtúla, lena n-áirítear friotaíocht ardteochta, neart meicniúil, agus friotaíocht creimeadh den scoth. Tá próiseas fáis CVD-SiC an-chasta agus íogair do roinnt paraiméadair, agus tá an teocht ina fhachtóir ríthábhachtach. San Airteagal seo, déanfaimid iniúchadh ar éifeachtaí teochta ar bhratuithe CVD-SiC agus ar a thábhachtaí atá sé an teocht taisce is fearr a roghnú.

Tá próiseas fáis CVD-SiC sách casta, agus is féidir achoimre a dhéanamh ar an bpróiseas mar seo a leanas: ag teocht ard, déantar an MTS a dhianscaoileadh go teirmeach chun móilíní beaga carbóin agus sileacain a fhoirmiú, is iad na príomh-mhóilíní foinse carbóin CH3, C2H2 agus C2H4, agus is iad na príomh-mhóilíní foinse sileacain ná SiCl2 agus SiCl3, etc.; ansin déantar na móilíní beaga carbóin agus sileacain seo a iompar trí gháis iompróra agus caolaithe go dtí cóngaracht dhromchla an tsubstráit graifíte, agus ansin déantar iad a adsorbú i bhfoirm stáit adsorbate. Déanfar na móilíní beaga seo a iompar chuig dromchla an tsubstráit graifíte ag an ngás iompróra agus an gháis caolaithe, agus ansin déanfar na móilíní beaga seo a asaithe ar dhromchla an tsubstráit i bhfoirm stáit asaithe, agus ansin imoibríonn na móilíní beaga le gach ceann acu. eile a fhoirmiú braoiníní beaga agus ag fás suas, agus beidh na braoiníní chumasc lena chéile freisin, agus tá an t-imoibriú ag gabháil leis an foirmiú na seachtháirgí idirmheánach (HCl gás); mar gheall ar theocht ard dhromchla an tsubstráit graifíte, déanfar na gáis idirmheánacha a dhíscaoileadh ó dhromchla an tsubstráit, agus ansin déanfar an iarmharach C agus Si a fhoirmiú i stát soladach. Ar deireadh, cruthóidh an C agus Si atá fágtha ar dhromchla an tsubstráit céim soladach SiC chun sciath SiC a fhoirmiú.

An teocht iCumhdach CVD-SiCIs paraiméadar ríthábhachtach é próisis a dhéanann difear do ráta fáis, criostalacht, aonchineálacht, foirmiú seachtháirgí, comhoiriúnacht an tsubstráit, agus costais fuinnimh. Léiríonn rogha na teochta barrmhaithe, sa chás seo, 1100°C, comhbhabhtáil idir na fachtóirí seo chun an cháilíocht agus na hairíonna sciath inmhianaithe a bhaint amach.