Cumhdach TaC le modh CVD

Is ábhar struchtúrach ard-teocht tábhachtach ard-neart, creimeadh-resistant agus ceimiceach cobhsaí é sciath chomhdhúile tantalam le leáphointe suas le 4273 ° C, ceann de na comhdhúile éagsúla a bhfuil an friotaíocht teochta is airde acu. Tá airíonna meicniúla ardteochta den scoth aige, frithsheasmhacht in aghaidh sciúradh aeir ardluais, friotaíocht ablation, agus comhoiriúnacht mhaith cheimiceach agus mheicniúil le graifít agus le comhdhúile carbóin/carbóin. Mar sin, i bpróiseas epitaxial GaN LEDs agus feistí cumhachta SiC mar MOCVD, tá friotaíocht aigéad agus alcaile den scoth ag sciath TaC go H2, HCl, NH3, a fhéadfaidh ábhar an tsubstráit graifíte a chosaint go hiomlán agus an timpeallacht fáis a íonú.

Fanann an sciath TaC cobhsaí ag teocht os cionn 2000 ° C, agus tosaíonn an sciath SiC a dhianscaoileadh ag 1200-1400 ° C, rud a fheabhsóidh go mór sláine an tsubstráit graifíte. Faoi láthair ullmhaítear cótaí carbide Tantalum ar fhoshraitheanna graifíte go príomha ag CVD, agus feabhsófar cumas táirgthe bratuithe TaC tuilleadh chun freastal ar an éileamh ar fheistí cumhachta SiC agus ar fheistí epitaxial GaNLEDs.

Is é TaCl5, C3H6, H2 agus Ar an córas imoibrithe ceimiceach a úsáidtear chun bratuithe cairbíde tantalam a chur ar ábhair charbóin trí thaisceadh ceimiceach gaile (CVD), áit a n-úsáidtear Ar mar chaolú agus chun gás a iompar.

Tá ról lárnach ag bratuithe chomhdhúile Tantalum i bpróiseas epitaxial GaN LEDs agus feistí cumhachta SiC ag baint úsáide as MOCVD. Cosnaíonn na hábhair chun cinn comhpháirteanna ríthábhachtacha, ag cinntiú a gcuid fad saoil agus feidhmíochta sna coinníollacha crua a bhaineann le déantúsaíocht leathsheoltóra ardteochta.

De réir mar a leanann an t-éileamh ar fheistí cumhachta SiC agus ar GaN LED ag ardú, tá cumas táirgthe bratuithe chomhdhúile tantalam le leathnú. Tá na monaróirí réidh chun freastal ar riachtanais mhéadaithe na dtionscal seo, ag éascú éabhlóid na teicneolaíochta ardteochta.

I gcrích,bratuithe chomhdhúile tantalamLéiriú teicneolaíochta dochreidte a léiriú maidir le marthanacht agus iontaofacht ábhar i dtimpeallachtaí ardteochta a chinntiú. Agus iad ag leanúint ar aghaidh ag réabhlóidiú na n-earnálacha leathsheoltóra agus leictreonaic cumhachta, cuireann na bratuithe seo béim ar a stádas mar ghné ríthábhachtach de dhul chun cinn ardteicneolaíochta an lae inniu.