SiC Epitaxy

Tá dhá chineál epitaxy ann: aonchineálach agus ilchineálach. D'fhonn feistí SiC a tháirgeadh le friotaíocht sonrach agus paraiméadair eile d'iarratais éagsúla, ní mór don tsubstráit na coinníollacha epitaxy a chomhlíonadh sular féidir tús a chur le táirgeadh. Bíonn tionchar ag cáilíocht an epitaxy ar fheidhmíocht na feiste.

Faoi láthair tá dhá phríomh-mhodh epitaxial. Is é an chéad cheann ná epitaxy aonchineálach, áit a bhfástar scannán SiC ar fhoshraith seoltaí SiC. Úsáidtear é seo go príomha le haghaidh MOSFET, IGBT, agus réimsí leathsheoltóra cumhachta ardvoltais eile. Is é an dara ceann fás heteroepitaxial, áit a fhástar scannán GaN ar fhoshraith SiC leath-inslithe. Úsáidtear é seo le haghaidh GaN HEMT agus leathsheoltóirí cumhachta íseal agus meánvoltais eile, chomh maith le feistí minicíochta raidió agus optoelectronic.

Áirítear le próisis epitaxial sublimation nó iompar gaile fisiceach (PVT), epitaxy léas móilíneach (MBE), epitaxy chéim leachta (LPE), agus epitaxy chéim gaile ceimiceach (CVD). Úsáideann modh táirgthe epitaxial aonchineálach SiC príomhshrutha H2 mar ghás iompróra, le silane (SiH4) agus própán (C3H8) mar fhoinse Si agus C. Déantar móilíní SiC a tháirgeadh trí imoibriú ceimiceach sa seomra deascadh agus a thaisceadh ar an tsubstráit SiC. .

I measc na bpríomhpharaiméadair SiC epitaxy tá aonfhoirmeacht tiús agus tiúchan dópála. De réir mar a mhéadaíonn voltas cásanna feidhmchláir íos-srutha, méadaíonn tiús na ciseal epitaxial de réir a chéile agus laghdaítear an tiúchan dópála.

Fachtóir teorannaithe amháin i dtógáil acmhainne SiC is ea trealamh epitaxial. Faoi láthair tá LPE na hIodáile, AIXTRON na Gearmáine, agus Nuflare agus TEL na Seapáine ag monaplacht ar threalamh fáis epitaxial. Tá timthriall seachadta trealaimh epitaxial ardteochta SiC príomhshrutha méadaithe go dtí thart ar 1.5-2 bliana.

Soláthraíonn Semicorex páirteanna SiC do threalamh leathsheoltóra, mar shampla LPE, Aixtron, agus araile. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort teagmháil a dhéanamh linn.

Fón teagmhála # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com