Maidir le lochtanna i gcriostal SiC - Micripíopa

Is féidir le lochtanna micreascópacha a bheith ag tsubstráit SiC, mar shampla Dislocation Scriú Snáithe (TSD), Snáithe Imeall Dislocation (TED), Base Plane Dislocation (BPD), agus daoine eile. Is é is cúis leis na lochtanna seo ná diallais i socrú na n-adamh ag an leibhéal adamhach. D'fhéadfadh dislocations macrascópacha a bheith ag criostail SiC freisin, cosúil le cuimsiú Si nó C, micreaphíopa, folús heicseagánach, polamorphs, etc. Is gnách go mbíonn na díláithrithe seo mór i méid.

Is é ceann de na saincheisteanna móra i ndéantúsaíocht feistí SiC ná micreastruchtúir tríthoiseach ar a dtugtar "micripíp" nó "pionphoill", atá de ghnáth 30-40um agus 0.1-5um i méid faoi seach. Tá dlús 10-10³/cm² ag na micreaphíopaí seo agus féadann siad dul isteach sa chiseal epitaxial, rud a fhágann go bhfuil lochtanna gléas-marbhadh. Is éard is cúis leo go príomha ná cnuasú dislocations spiro agus meastar gurb iad na príomhchonstaic i bhforbairt feistí SiC.

Is éard atá i lochtanna microtubule ar an tsubstráit ná foinse lochtanna eile a foirmíodh sa chiseal epitaxial le linn an phróisis fáis, mar shampla folúntas, cuimsiú polymorphs éagsúla, cúpla, etc. Dá bhrí sin, is é an rud is tábhachtaí atá le déanamh le linn phróiseas fáis ábhar an tsubstráit. le haghaidh feistí SiC ardvoltais agus ard-chumhachta ná foirmiú lochtanna microtubule i mórchriostail SiC a laghdú agus iad a chosc ó dhul isteach sa chiseal epitaxial.

Is féidir breathnú ar an micreaphíopa mar chlaiseanna beaga, agus trí choinníollacha an phróisis a bharrfheabhsú is féidir linn "na claiseanna a líonadh" chun dlús an mhicripíopa a laghdú. Tá sé léirithe ag roinnt staidéir sa litríocht agus i sonraí turgnamhacha gur féidir le epitaxy galú, fás CVD, agus epitaxy céim leachta an mhicripíopa a líonadh agus foirmiú micreaphíopa agus dislocations a laghdú.

Úsáideann Semicorex an teicníc MOCVD chun bratuithe SiC a chruthú a laghdóidh dlús na micrea-phíobáin go héifeachtach, agus táirgí den scoth a bheith mar thoradh air. Má tá aon fhiosrúcháin agat nó má tá sonraí breise uait, ná bíodh drogall ort dul i dteagmháil linn.

Fón teagmhála # +86-13567891907

Ríomhphost: sales@semicorex.com