Cóireáil Dromchla Do Chuck Leictreastatach Ard-deireadh

Tá anchuck leictreastatachcomhlíonann sé feidhmeanna iolracha amhail urscaoileadh aonfhoirmeach leictreastatach, seoladh teasa agus asaithe agus fosúchán wafer i réimse na déantúsaíochta leathsheoltóra. Is é ceann de phríomhfheidhmeanna an ESC ná sliseog a ionsú go cobhsaí faoi dhálaí foircneacha oibriúcháin mar ardfholús, plasma láidir, agus raon teochta leathan.

Ní hé an struchtúr seachtrach ná an fhoirmle bunábhar an rud a chinneann go fírinneach ar a bhfeidhmíocht, ach an próiseas cóireála dromchla. Gan cóireáil dromchla ghairmiúil, tiocfar ar na fadhbanna seo a leanas le linn oibriú:

1. Creimeadh plasma agus éilliú ian miotail

Tá dromchlaí ceirmeacha gan chosaint i mbaol creimthe plasma i socruithe próisis eitseála nó CVD. Is féidir le hiain mhiotail a scaoileadh nó cáithníní ceirmeacha a scaoileadh go díreach a bheith mar thoradh ar an gcineál seo creimthe, rud a éillíonn an wafer.

2. Seoltacht teirmeach míchothrom agus dífhoirmiúchán warpage

Mar thoradh ar dhromchlaí garbh nó drochchóireáil bíonn teagmháil mhíchothrom idir an wafer agus anESC, ag cur bac ar sheoladh teasa agus ag cur isteach ar aonfhoirmeacht CD.

3. Asaithe leictreastatach éagobhsaí

Is féidir leis an gcineál seo sciath cosán seoltaí cobhsaí a thógáil i limistéar ar leith, agus ar an mbealach sin an fhadhb a bhaineann le carnadh lucht áitiúil a sheachaint go héifeachtach trí urscaoileadh aonfhoirmeach na muirear dromchla a rialú go beacht.

Is minic a ghlacann dromchla ESCanna ard-deireadh dearadh struchtúr ilchodach ilchiseal, a rialaíonn go beacht réimsí feidhme trí chótaí chun fíor-chomhtháthú ardfheidhmíochta a bhaint amach.

Is minic a ghlacann dromchla ESCanna ard-deireadh dearadh struchtúr ilchodach ilchiseal, a rialaíonn go beacht réimsí feidhme trí chótaí chun fíor-chomhtháthú ardfheidhmíochta a bhaint amach.

Bratuithe neamhghreamaitheacha 1.Fluoropolymer (cosúil le PTFE agus PFA)

Tá an cineál sciath seo oiriúnach go háirithe do thimpeallachtaí próisis íseal-teocht mar gheall ar a fhuinneamh saor ó dhromchla íseal, rud a chuireann cosc ​​​​go héifeachtach ar asaithe iarmhair photoresist.

2. Cótaí Carbóin cosúil le Diamond (DLC).

Le cruas ard, friotaíocht plasma, agus comhéifeacht frithchuimilte íseal, tá siad oiriúnach d'iarratais frith-chreimeadh agus díorma frithcháithníní i dtrealamh eitseála.

3. Scannáin ceirmeacha seoltacha PVD (cosúil le CrSiN agus TiN)

Is féidir leis an gcineál seo sciath cosán seoltaí cobhsaí a thógáil i limistéar ar leith, agus ar an mbealach sin an fhadhb a bhaineann le carnadh lucht áitiúil a sheachaint go héifeachtach trí urscaoileadh aonfhoirmeach na muirear dromchla a rialú go beacht.

4. Bratuithe seoltacha teirmeacha ilchodacha (cosúil le púdar diamanta agus sciath hibrideach fluoropolymer)

Comhcheanglaíonn an cineál sciath seo tréithe neamhghreamaitheacha le seoltacht theirmeach, agus is féidir lena fheidhmíocht fhoriomlán a mheaitseáil go beacht le riachtanais iarratais rialaithe teirmeach ard-chruinneas ESC.