Cad is Próiseas Dópála ann?

I monarú íonachta ultra-ardsliseog, ní mór do sliseoga caighdeán íonachta os cionn 99.999999999% a bhaint amach chun airíonna bunúsacha leathsheoltóirí a chinntiú. Go paradacsach, chun tógáil fheidhmiúil ciorcaid iomlánaithe a bhaint amach, ní mór eisíontais shonracha a thabhairt isteach go háitiúil ar dhromchla na sliseog trí phróisis dópála. Tá sé seo toisc go bhfuil tiúchan an-íseal d'iompróirí saor in aisce ag an teocht chomhthimpeallach sileacain aonchriostail íon. Tá a seoltacht gar d'inslitheoir, rud a fhágann nach féidir sruth éifeachtach a fhoirmiú. Réitíonn an próiseas dópála é seo trí na heilimintí dópála agus an tiúchan dópála a choigeartú.

An dá theicnící dópála príomhshrutha:

1. Is modh traidisiúnta é idirleathadh teocht ard do dhópáil leathsheoltóra. Is é an smaoineamh an leathsheoltóir a chóireáil ag teocht ard, rud a fhágann go bhfuil adaimh eisíontas idirleata ó dhromchla an leathsheoltóra isteach ina taobh istigh. Ós rud é go mbíonn adaimh eisíontais níos mó go hiondúil ná adaimh leathsheoltóra, tá gá le gluaiseacht theirmeach na n-adamh sa laitís criostail chun cuidiú leis na neamhíonachtaí sin folús idirstitial a áitiú. Trí na paraiméadair teochta agus ama a rialú go cúramach le linn an phróisis idirleata, is féidir an dáileadh eisíontas atá bunaithe ar an saintréith seo a rialú go héifeachtach. Is féidir an modh seo a úsáid chun acomhail dhópáilte dhomhain a chruthú, mar an struchtúr tobair dúbailte i dteicneolaíocht CMOS.

Is é ionchlannú 2.Ion an príomhtheicníc dópála i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, a bhfuil roinnt buntáistí aige, mar chruinneas ard dópála, teocht íseal próisis, agus beagán damáiste d'ábhar an tsubstráit. Go sonrach, is éard atá i gceist leis an bpróiseas ionchlannú ian ná adaimh eisíontais ianaithe chun iain luchtaithe a chruthú, agus ansin na hiain seo a luasghéarú trí réimse leictreach ard-déine chun léas iain ardfhuinnimh a chruthú. Buaileann na hiain mhearghluaiseachta seo an dromchla leathsheoltóra ansin, rud a cheadaíonn ionchlannú beacht le doimhneacht dópála inchoigeartaithe. Tá an teicníocht seo thar a bheith úsáideach chun struchtúir acomhail éadomhain a chruthú, amhail réigiúin foinse agus draenacha MOSFETanna, agus ceadaíonn sé rialú ardchruinneas ar dháileadh agus ar thiúchan na n-eisíontas.

Fachtóirí a bhaineann le dópáil:

1. Eilimintí Dhópála

Déantar leathsheoltóirí de chineál N trí eilimintí Grúpa V a thabhairt isteach (cosúil le fosfar agus arsanaic), agus cruthaítear leathsheoltóirí de chineál P trí eilimintí Grúpa III (cosúil le bórón) a thabhairt isteach. Idir an dá linn, bíonn tionchar díreach ag íonacht na n-eilimintí dópála ar cháilíocht an ábhair dhópáilte, agus cuidíonn dopants ard-íonachta chun lochtanna breise a laghdú.

2. Tiúchan Dópála

Cé nach féidir leis an tiúchan íseal seoltacht a mhéadú go suntasach, tá claonadh ag an tiúchan ard dochar a dhéanamh don laitíse agus an baol sceitheadh ​​a ardú.

3. Paraiméadair Rialaithe Próisis

Bíonn tionchar ag teocht, am agus coinníollacha atmaisféaracha ar éifeacht idirleathadh na n-adamh eisíontais. I ionchlannú ian, déantar doimhneacht agus aonfhoirmeacht na dópála a chinneadh ag fuinneamh ian, dáileog, agus uillinn teagmhais.

---

Cuireann Semicorex ardchaighdeán ar fáilRéitigh SiCle haghaidh próiseas idirleathadh leathsheoltóra. Má tá aon fhiosrúcháin agat, bíodh leisce ort teagmháil a dhéanamh linn.