Is é Susceptor Silicon Wafer Semicorex Monocrystalline an réiteach idéalach le haghaidh próisis láimhseála epitaxy graifíte agus wafer. Cinntíonn ár dtáirge ultra-íon éilliú íosta agus feidhmíocht eisceachtúil saoil fhada, rud a fhágann go bhfuil sé ina rogha coitianta i go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Mar phríomhsholáthraí iompróirí wafer leathsheoltóra sa tSín, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach.
Is táirge graifíte é ár Susceptor epitaxial Silicon Monocrystalline atá brataithe le SiC ard-íonachta, a bhfuil friotaíocht ard teasa agus creimeadh aige. Úsáidtear an t-iompróir atá brataithe le carbíd sileacain CVD i bpróisis a fhoirmíonn an ciseal epitaxial ar sliseog leathsheoltóra. Tá seoltacht teirmeach ard aige agus airíonna dáileadh teasa den scoth, atá riachtanach do phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra éifeachtach agus beacht.
Is é ceann de na príomhghnéithe dár Susceptor Monocrystalline Silicon Wafer ná a dhlús den scoth. Tá dlús maith ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain araon agus is féidir leo ról cosanta maith a imirt i dtimpeallachtaí oibre ardteochta agus creimneach. Tá maoile dromchla an-ard ag an susceptor brataithe chomhdhúile sileacain a úsáidtear le haghaidh fás criostail aonair, rud atá riachtanach chun táirgeadh sliseog ardcháilíochta a chothabháil.
Gné thábhachtach eile dár dtáirge ná a chumas an difríocht i gcomhéifeacht leathnú teirmeach idir an tsubstráit graifíte agus ciseal chomhdhúile sileacain a laghdú. Feabhsaíonn sé seo go héifeachtach an neart nascáil, rud a chosc scoilteadh agus delamination. Ina theannta sin, tá seoltacht ard teirmeach agus airíonna dáileadh teasa den scoth ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, ag cinntiú go ndéantar an teas a dháileadh go cothrom le linn an phróisis déantúsaíochta.
Tá ár Susceptor Wafer Sileacain Monocrystalline resistant freisin ar ocsaídiú agus creimeadh ardteochta, rud a fhágann gur táirge iontaofa agus durable é. Cinntíonn a leáphointe ard gur féidir leis an timpeallacht ardteochta a theastaíonn le haghaidh déantúsaíocht leathsheoltóra éifeachtach a sheasamh.
Mar fhocal scoir, is réiteach ultra-íon, durable agus iontaofa é Susceptor Wafer Sileacain Monocrystalline Semicorex do phróisis láimhseála epitaxy graifíte agus sliseog. Déanann a dhlús den scoth, maoile dromchla, agus seoltacht theirmeach an-oiriúnach é le húsáid i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach. Táimid bródúil as táirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha agus táimid ag tnúth le dul i gcomhpháirtíocht leat le haghaidh do riachtanais uile iompróra sliseog leathsheoltóra.
Paraiméadair an tSochaid Wafer Sileacain Monacrystalline
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Susceptor Wafer Sileacain Monocrystalline
- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí